| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 铁电材料 | 第10-11页 |
| 1.2 Aurivillius相概述 | 第11-13页 |
| 1.3 Sr_2Bi_4Ti_5O_(18)的结构与性能 | 第13-14页 |
| 1.4 BiFeO_3的结构与性能 | 第14-15页 |
| 1.5 铁电薄膜的导电机理 | 第15-18页 |
| 1.5.1 欧姆传导机制 | 第15-16页 |
| 1.5.2 空间电荷限制传导机制(SCLC) | 第16页 |
| 1.5.3 PF发射机制 | 第16-17页 |
| 1.5.4 Schottky发射机制 | 第17页 |
| 1.5.5 FN隧穿效应 | 第17-18页 |
| 1.6 BLSF性能优化 | 第18-20页 |
| 1.7 本论文研究对象及主要研究内容 | 第20-22页 |
| 1.7.1 研究对象 | 第20页 |
| 1.7.2 主要研究内容 | 第20-22页 |
| 第2章 实验方法设计及结构和性能表征 | 第22-29页 |
| 2.1 实验设计及设备 | 第22-23页 |
| 2.1.1 实验原料 | 第22页 |
| 2.1.2 实验设备 | 第22-23页 |
| 2.2 薄膜样品的制备 | 第23-26页 |
| 2.2.1 前驱体溶液的制备 | 第23-24页 |
| 2.2.2 衬底的清洗与预处理 | 第24页 |
| 2.2.3 湿膜的制备阶段 | 第24-25页 |
| 2.2.4 热处理成膜阶段 | 第25-26页 |
| 2.2.5 溶胶凝胶法制备薄膜技术特点 | 第26页 |
| 2.3 样品结构与性能表征方法 | 第26-29页 |
| 2.3.1 X射线衍射(XRD)测试 | 第27页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜(SEM)形貌测试 | 第27页 |
| 2.3.3 铁电性能测试 | 第27-29页 |
| 第3章 SBTi/BFO不同比例复合薄膜的结构与性能分析 | 第29-41页 |
| 3.1 不同x值的SBFTi-x铁电薄膜的XRD和SEM分析 | 第29-31页 |
| 3.2 SBFTi-x铁电薄膜的铁电性能 | 第31-32页 |
| 3.3 SBFTi-x铁电薄膜的漏电分析 | 第32-33页 |
| 3.4 SBFTi-x复合铁电薄膜的漏电机制分析 | 第33-37页 |
| 3.4.1 薄膜导电机制的理论基础 | 第33-35页 |
| 3.4.2 SBFTi-x薄膜的漏电机制 | 第35-37页 |
| 3.5 x值优化后的SBFTi-x铁电薄膜的电性能分析 | 第37-40页 |
| 3.6 本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 退火温度对复合铁电薄膜的结构和性能的影响 | 第41-49页 |
| 4.1 引言 | 第41页 |
| 4.2 退火温度对SBFTi-0.1铁电薄膜的结构的影响 | 第41-43页 |
| 4.3 退火温度对SBFTi-0.1铁电薄膜铁电性的影响 | 第43-44页 |
| 4.4 退火温度对SBFTi-0.1铁电薄膜漏电性的影响 | 第44-46页 |
| 4.5 退火温度对SBFTi-0.1复合薄膜的介电性能的影响 | 第46-47页 |
| 4.6 本章小结 | 第47-49页 |
| 第5章 过渡层对铁电薄膜的结构和性能的影响 | 第49-55页 |
| 5.1 引言 | 第49页 |
| 5.2 薄膜与过渡层之间的晶格失配分析 | 第49-50页 |
| 5.3 不同厚度的SBTi过渡层对SBTi/BFO薄膜结构的影响 | 第50-53页 |
| 5.4 不同厚度SBTi过渡层的SBTi/BFO薄膜的漏电性能 | 第53-54页 |
| 5.5 本章小结 | 第54-55页 |
| 第6章 结论 | 第55-57页 |
| 6.1 主要结论 | 第55页 |
| 6.2 主要创新点 | 第55-56页 |
| 6.3 工作展望 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 硕士期间成果 | 第66页 |
