| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-15页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第7页 |
| 1.2 微观形貌检测的发展及研究现状 | 第7-13页 |
| 1.3 课题来源 | 第13页 |
| 1.4 本系统微观形貌检测方法的确定 | 第13-14页 |
| 1.5 本文主要研究内容 | 第14-15页 |
| 2 扫描白光干涉光机电系统理论研究 | 第15-24页 |
| 2.1 扫描白光干涉显微测量系统的工作原理 | 第15-18页 |
| 2.1.1 白光干涉原理及特征 | 第15-16页 |
| 2.1.2 测量系统工作原理确定 | 第16-18页 |
| 2.2 基于扫描白光干涉技术的粗糙度及三维形貌检测的理论研究 | 第18-23页 |
| 2.2.1 表面粗糙度的评定及测量的理论研究 | 第18-19页 |
| 2.2.2 三维形貌恢复算法的理论研究 | 第19-21页 |
| 2.2.3 相干峰提取算法的理论研究 | 第21-23页 |
| 2.3 本章小结 | 第23-24页 |
| 3 基于扫描白光干涉的微观形貌检测系统的结构设计 | 第24-56页 |
| 3.1 微观形貌检测系统的设计要求及性能指标 | 第24页 |
| 3.2 微观形貌检测系统的总体设计方案 | 第24-26页 |
| 3.3 光学系统的结构设计 | 第26-32页 |
| 3.3.1 光学系统方案确定 | 第26-28页 |
| 3.3.2 分光镜暗箱的结构设计 | 第28-30页 |
| 3.3.3 图像采集装置的结构设计 | 第30-31页 |
| 3.3.4 其他机械结构的设计及测量核心装配 | 第31-32页 |
| 3.4 电动载物台的机械结构设计 | 第32-39页 |
| 3.4.1 二维电动平移台方案的确定 | 第32-34页 |
| 3.4.2 微升降机构的结构设计 | 第34-35页 |
| 3.4.3 二维角度调节机构的结构设计 | 第35-37页 |
| 3.4.4 电动载物台总体装配及模态分析 | 第37-39页 |
| 3.5 电动升降台的机械结构设计 | 第39-45页 |
| 3.5.1 滚珠丝杠及步进电机的计算与选型 | 第39-42页 |
| 3.5.2 电动升降台的其他零件选配及装配 | 第42-43页 |
| 3.5.3 电动升降台静力学分析 | 第43-45页 |
| 3.6 微位移器的机械结构设计 | 第45-52页 |
| 3.6.1 压电陶瓷特征及选择 | 第46-47页 |
| 3.6.2 微位移器的结构设计 | 第47-48页 |
| 3.6.3 微位移器有限元分析 | 第48-52页 |
| 3.7 整机模态分析及系统总装配 | 第52-54页 |
| 3.8 本章小结 | 第54-56页 |
| 4 扫描白光干涉微观形貌测量软件设计 | 第56-62页 |
| 4.1 软件开发方案 | 第56页 |
| 4.2 运动控制模块 | 第56-59页 |
| 4.3 扫描采样及图像采集模块 | 第59-60页 |
| 4.4 数据处理及结果显示模块 | 第60-61页 |
| 4.5 本章小结 | 第61-62页 |
| 5 扫描白光干涉微观形貌检测系统的测量实验与结果分析 | 第62-70页 |
| 5.1 CCD相机靶面校准 | 第62-63页 |
| 5.2 测量系统性能参数 | 第63-64页 |
| 5.2.1 系统分辨率 | 第63-64页 |
| 5.2.2 系统检测范围 | 第64页 |
| 5.3 重复性精度实验 | 第64-67页 |
| 5.4 典型光电器件的三维形貌及粗糙度测量实例 | 第67-69页 |
| 5.5 本章小结 | 第69-70页 |
| 6 论文总结与展望 | 第70-72页 |
| 6.1 论文工作总结 | 第70-71页 |
| 6.2 论文创新点 | 第71页 |
| 6.3 有待进一步研究的问题 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 附录 | 第77页 |