| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第12-29页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第12-13页 |
| 1.2 聚焦电子束诱导沉积方法概述 | 第13-17页 |
| 1.3 高速原子力显微镜技术研究现状 | 第17-26页 |
| 1.3.1 探针与偏转检测系统 | 第17-19页 |
| 1.3.2 高带宽扫描器 | 第19-24页 |
| 1.3.3 扫描控制方法 | 第24-26页 |
| 1.4 基于高速原子力显微镜的闭环纳米制造技术简析 | 第26-27页 |
| 1.5 本文主要研究内容 | 第27-29页 |
| 第2章 高速原子力显微镜动力学及扫描速度分析 | 第29-42页 |
| 2.1 引言 | 第29页 |
| 2.2 轻敲模式下成像过程建模与扫描速度分析 | 第29-36页 |
| 2.3 接触模式下成像过程建模与扫描速度分析 | 第36-39页 |
| 2.4 扫描器对成像速度和品质的影响 | 第39-41页 |
| 2.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 第3章 基于柔性机构的高速扫描器研制 | 第42-68页 |
| 3.1 引言 | 第42页 |
| 3.2 三脚架式高速扫描器设计与仿真 | 第42-53页 |
| 3.2.1 总体方案设计 | 第42-45页 |
| 3.2.2 柔性铰链设计与仿真 | 第45-51页 |
| 3.2.3 扫描器性能测试 | 第51-53页 |
| 3.3 控制系统设计 | 第53-62页 |
| 3.3.1 现场可编程模拟阵列原理 | 第53-54页 |
| 3.3.2 面向高速扫描的控制器设计 | 第54-61页 |
| 3.3.3 基于FPAA的控制器实现 | 第61-62页 |
| 3.4 高速原子力显微镜数据采集系统设计 | 第62-64页 |
| 3.5 高速成像结果与分析 | 第64-66页 |
| 3.6 本章小结 | 第66-68页 |
| 第4章 面向成像过程迟滞补偿的新型电荷控制方法 | 第68-95页 |
| 4.1 引言 | 第68页 |
| 4.2 压电致动器电荷控制方法的理论基础 | 第68-71页 |
| 4.3 精度可调的非线性电荷控制器原理及设计 | 第71-84页 |
| 4.3.1 电荷控制器的过补偿和欠补偿现象 | 第72-74页 |
| 4.3.2 非线性电荷控制原理 | 第74-76页 |
| 4.3.3 电荷控制实验 | 第76-82页 |
| 4.3.4 实验结果的进一步讨论 | 第82-84页 |
| 4.4 具有复合低频通路的非线性电荷控制器原理及应用 | 第84-94页 |
| 4.4.1 解耦接地式电荷控制器设计 | 第85-88页 |
| 4.4.2 电荷控制器的复合低频通路设计 | 第88-89页 |
| 4.4.3 具有复合低频通路电荷控制器的实验研究 | 第89-94页 |
| 4.5 本章小结 | 第94-95页 |
| 第5章 纳米级3D打印过程原位检测的实验研究 | 第95-114页 |
| 5.1 引言 | 第95页 |
| 5.2 纳米级3D打印在线检测系统的设计 | 第95-104页 |
| 5.2.1 双束系统与高速原子力显微镜设计约束 | 第95-97页 |
| 5.2.2 高速原子力显微镜的扫描器设计 | 第97-102页 |
| 5.2.3 自感知探针集成与成像性能分析 | 第102-104页 |
| 5.3 基于高速原子力显微镜的纳米级3D打印原位测量实验 | 第104-108页 |
| 5.4 纳米结构的时变机械性能研究 | 第108-113页 |
| 5.5 本章小结 | 第113-114页 |
| 结论 | 第114-117页 |
| 参考文献 | 第117-126页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第126-128页 |
| 致谢 | 第128-129页 |
| 个人简历 | 第129页 |
