| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-18页 |
| 1.1 研究背景 | 第11-12页 |
| 1.2 氧化钒薄膜的相变特性 | 第12页 |
| 1.3 氧化钒的应用 | 第12-14页 |
| 1.4 氧化钒薄膜在智能窗方面国内外研究现状 | 第14-16页 |
| 1.4.1 降低相变温度方面 | 第14-15页 |
| 1.4.2 光学特性方面 | 第15-16页 |
| 1.5 论文选题意义以及主要内容 | 第16-18页 |
| 1.5.1 选题意义 | 第16页 |
| 1.5.2 主要内容 | 第16-17页 |
| 1.5.3 本论文的内容安排 | 第17-18页 |
| 第二章 氧化钒薄膜的制备和表征 | 第18-25页 |
| 2.1 氧化钒薄膜的制备 | 第18-19页 |
| 2.1.1 磁控溅射法制备氧化钒薄膜 | 第18-19页 |
| 2.1.2 衬底清洗 | 第19页 |
| 2.2 影响氧化钒薄膜相变的因素 | 第19-20页 |
| 2.3 氧化钒薄膜的表征 | 第20-24页 |
| 2.3.1 X射线衍射仪 | 第20-21页 |
| 2.3.2 X射线光电子能谱仪 | 第21-22页 |
| 2.3.3 扫描电子显微镜 | 第22页 |
| 2.3.4 Raman光谱分析仪 | 第22-23页 |
| 2.3.5 台阶仪 | 第23页 |
| 2.3.6 紫外-可见-近红外(UV/VIS/NIR)分光光度计 | 第23-24页 |
| 2.4 小结 | 第24-25页 |
| 第三章 掺Fe氧化钒薄膜相变性能及微结构分析 | 第25-36页 |
| 3.1 引言 | 第25页 |
| 3.2 掺Fe氧化钒薄膜的制备 | 第25-26页 |
| 3.3 掺Fe氧化钒薄膜的微结构分析 | 第26-30页 |
| 3.3.1 掺Fe氧化钒薄膜的XRD分析 | 第26-27页 |
| 3.3.2 掺Fe氧化钒薄膜的RAMAN分析 | 第27-28页 |
| 3.3.3 掺Fe氧化钒薄膜的XPS分析 | 第28-29页 |
| 3.3.4 掺Fe氧化钒薄膜的SEM分析 | 第29-30页 |
| 3.4 掺Fe氧化钒薄膜的MIT特性分析 | 第30-35页 |
| 3.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 掺Mg氧化钒薄膜相变性能及微结构分析 | 第36-50页 |
| 4.1 引言 | 第36页 |
| 4.2 掺Mg氧化钒薄膜的制备 | 第36页 |
| 4.3 ITO衬底上Mg掺杂氧化钒薄膜的性能研究 | 第36-43页 |
| 4.3.1 掺Mg氧化钒薄膜的XRD分析 | 第36-37页 |
| 4.3.2 掺Mg氧化钒薄膜的XPS分析 | 第37-39页 |
| 4.3.3 掺Mg氧化钒薄膜的SEM分析 | 第39-40页 |
| 4.3.4 掺Mg氧化钒薄膜的MIT特性分析 | 第40-43页 |
| 4.4 玻璃衬底上Mg掺杂氧化钒薄膜的性能研究 | 第43-48页 |
| 4.4.1 掺Mg氧化钒薄膜的XRD分析 | 第43-44页 |
| 4.4.2 掺Mg氧化钒薄膜的XPS分析 | 第44-45页 |
| 4.4.3 掺Mg氧化钒薄膜的SEM分析 | 第45-46页 |
| 4.4.4 掺Mg氧化钒薄膜的MIT特性分析 | 第46-48页 |
| 4.5 衬底对Mg掺杂氧化钒性能影响的异同 | 第48-49页 |
| 4.6 本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 Fe/Mg共掺氧化钒薄膜相变性能及微结构的分析比较 | 第50-61页 |
| 5.1 引言 | 第50页 |
| 5.2 Fe/Mg共掺氧化钒薄膜的制备 | 第50-51页 |
| 5.3 Fe/Mg共掺氧化钒薄膜的微结构分析 | 第51-55页 |
| 5.3.1 Fe/Mg共掺氧化钒薄膜的XRD分析 | 第51页 |
| 5.3.2 Fe/Mg共掺氧化钒薄膜的RAMAN分析 | 第51-52页 |
| 5.3.3 Fe/Mg共掺氧化钒薄膜的XPS分析 | 第52-54页 |
| 5.3.4 Fe/Mg共掺氧化钒薄膜的SEM分析 | 第54-55页 |
| 5.4 Fe/Mg共掺对氧化钒薄膜相变特性的影响 | 第55-59页 |
| 5.5 本章小结 | 第59-61页 |
| 第六章 总结与展望 | 第61-63页 |
| 6.1 总结 | 第61-62页 |
| 6.2 展望 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-70页 |
| 攻读硕士期间取得的研究成果 | 第70页 |
