| 中文摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 课题背景和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 MEMS动态测量技术在国内外发展现状及趋势 | 第10-14页 |
| 1.3 本论文研究工作、结构和创新点 | 第14-15页 |
| 第二章 MEMS动态测量光学系统的设计与实现 | 第15-24页 |
| 2.1 光学系统主要组成部件的原理 | 第15-20页 |
| 2.1.1 激光频闪调制的原理 | 第15-16页 |
| 2.1.2 显微照明系统的原理 | 第16-17页 |
| 2.1.3 显微视觉系统的原理 | 第17-19页 |
| 2.1.4 显微干涉系统的原理 | 第19-20页 |
| 2.2 光学系统的硬件设计 | 第20-22页 |
| 2.3 光学系统的调试技术 | 第22-23页 |
| 2.4 小结 | 第23-24页 |
| 第三章 MEMS三维动态测量同步控制系统的设计与实现 | 第24-41页 |
| 3.1 频闪显微视觉和干涉的时序要求 | 第24-27页 |
| 3.1.1 频闪显微视觉的时序要求 | 第24-25页 |
| 3.1.2 频闪显微干涉的时序要求 | 第25-27页 |
| 3.2 同步控制系统的硬件设计 | 第27-36页 |
| 3.2.1 计算机与MCU之间USB通信的实现 | 第28-29页 |
| 3.2.2 FPGA控制逻辑的设计 | 第29-32页 |
| 3.2.3 千兆网相机接口的设计 | 第32-33页 |
| 3.2.4 压电陶瓷驱动微动平移台 | 第33-34页 |
| 3.2.5 数模转换电路的设计 | 第34-36页 |
| 3.3 同步控制系统的流程设计 | 第36-38页 |
| 3.4 同步控制系统的参数分析 | 第38页 |
| 3.5 同步控制系统的实验测试 | 第38-40页 |
| 3.6 小结 | 第40-41页 |
| 第四章 MEMS三维动态测量系统上位机的设计与实现 | 第41-46页 |
| 4.1 测量系统上位机主框架的设计 | 第41-42页 |
| 4.2 USB通信的上位机设计 | 第42-43页 |
| 4.3 千兆网相机的上位机设计 | 第43-44页 |
| 4.4 小结 | 第44-46页 |
| 第五章 面内测量算法的研究 | 第46-60页 |
| 5.1 位图的基本格式 | 第46-47页 |
| 5.2 位图的预处理 | 第47页 |
| 5.3 特征模板提取算法 | 第47-50页 |
| 5.3.1 图像的二值化算法 | 第48-49页 |
| 5.3.2 图像的边缘提取算法 | 第49-50页 |
| 5.3.3 特征模板提取算法 | 第50页 |
| 5.4 图像的模板匹配算法 | 第50-56页 |
| 5.4.1 标准化协方差相关法 | 第50-51页 |
| 5.4.2 序贯相似性检测算法 | 第51-52页 |
| 5.4.3 亚像素步长相关法 | 第52-54页 |
| 5.4.4 单纯形搜索法 | 第54页 |
| 5.4.5 相关函数的二次曲面拟合算法 | 第54-56页 |
| 5.5 MEMS面内运动测量算法的流程设计 | 第56页 |
| 5.6 MEMS面内运动测量算法的实验测试 | 第56-59页 |
| 5.7 小结 | 第59-60页 |
| 第六章 总结与展望 | 第60-62页 |
| 6.1 总结 | 第60-61页 |
| 6.2 展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-67页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
