| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 亚波长聚焦器件的发展 | 第10-12页 |
| 1.2 显微技术的发展 | 第12-17页 |
| 1.2.1 第一代显微镜 | 第12-14页 |
| 1.2.1 第二代显微镜 | 第14-17页 |
| 1.3 本文主要工作及结构安排 | 第17-18页 |
| 第二章 亚波长结构透镜理论基础与检测原理 | 第18-34页 |
| 2.1 表面等离子体理论基础 | 第18-30页 |
| 2.1.1 表面等离子体存在条件 | 第19-24页 |
| 2.1.3 表面等离子体激发方式 | 第24-27页 |
| 2.1.4 电磁波在表面等离子体亚波长金属波导中的传播 | 第27-29页 |
| 2.1.5 表面等离子体数值分析方法 | 第29-30页 |
| 2.2 扫描探针光学检测原理 | 第30-33页 |
| 2.2.1 扫描近场光学显微镜的提出 | 第30-31页 |
| 2.2.2 现代扫描近场光学显微镜 | 第31-33页 |
| 2.3 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 亚波长结构透镜的设计与仿真分析 | 第34-47页 |
| 3.1 基于MIM结构的表面等离子体透镜工作原理 | 第34-37页 |
| 3.1.1 表面等离子体透镜原理分析 | 第34-37页 |
| 3.2 亚波长结构透镜设计与优化 | 第37-39页 |
| 3.2.1 亚波长结构透镜波前设计 | 第37-38页 |
| 3.2.2 亚波长结构透镜结构设计 | 第38-39页 |
| 3.3 狭缝聚焦效果影响因素分析 | 第39-45页 |
| 3.3.1 缝宽对聚焦效果的影响 | 第39-43页 |
| 3.3.2 偏振对聚焦效果的影响 | 第43-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-47页 |
| 第四章 亚波长结构透镜的加工与检测方法研究 | 第47-59页 |
| 4.1 亚波长结构透镜和杨氏双缝结构加工 | 第47-51页 |
| 4.1.1 微纳器件加工方法 | 第47-49页 |
| 4.1.2 亚波长结构透镜加工结果检测 | 第49-51页 |
| 4.2 亚波长结构透镜光学检测方法 | 第51-52页 |
| 4.2.1 杨氏双缝结构相位偏移测试 | 第51-52页 |
| 4.3 亚波长结构透镜扫描探针光学检测方法研究 | 第52-58页 |
| 4.3.1 SNOM检测光路 | 第52-53页 |
| 4.3.2 SNOM测试结果与分析 | 第53-56页 |
| 4.3.4 测试误差分析 | 第56-58页 |
| 4.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 结论 | 第59-61页 |
| 5.1 本文工作内容 | 第59页 |
| 5.2 本文创新点 | 第59-60页 |
| 5.3 展望 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第66-67页 |