| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 符号对照表 | 第13-15页 |
| 缩略语对照表 | 第15-20页 |
| 第一章 绪论 | 第20-36页 |
| 1.1 MEMS概述 | 第20-23页 |
| 1.2 MEMS扭转微镜 | 第23-25页 |
| 1.3 MEMS扭转微镜的应用 | 第25-31页 |
| 1.3.1 光通信应用 | 第25-28页 |
| 1.3.2 医疗和生物技术应用 | 第28-29页 |
| 1.3.3 投影显示器 | 第29-30页 |
| 1.3.4 激光雷达 | 第30-31页 |
| 1.4 静电扭转MEMS微镜的控制研究 | 第31-34页 |
| 1.5 本文研究内容 | 第34-35页 |
| 1.6 本章小结 | 第35-36页 |
| 第二章 MEMS器件气体阻尼特性分析 | 第36-54页 |
| 2.1 引言 | 第36页 |
| 2.2 流体运动方程 | 第36-38页 |
| 2.3 气体阻尼 | 第38-49页 |
| 2.3.1 滑膜气体阻尼 | 第39-41页 |
| 2.3.2 压膜气体阻尼 | 第41-49页 |
| 2.4 数值仿真 | 第49-52页 |
| 2.5 本章小结 | 第52-54页 |
| 第三章 考虑边界效应的MEMS压膜阻尼模型 | 第54-70页 |
| 3.1 引言 | 第54-55页 |
| 3.2 解析模型及格林函数求解 | 第55-57页 |
| 3.3 垂直运动 | 第57-60页 |
| 3.3.1 阻尼力(Dampingforce) | 第57-58页 |
| 3.3.2 边界压强(Boundarypressure) | 第58-59页 |
| 3.3.3 数值分析与仿真结果 | 第59-60页 |
| 3.4 谐振运动 | 第60-64页 |
| 3.4.1 边界压强 | 第60-61页 |
| 3.4.2 阻尼力 | 第61-63页 |
| 3.4.3 算例分析 | 第63-64页 |
| 3.5 扭转运动 | 第64-68页 |
| 3.5.1 气体阻尼力矩 | 第64-67页 |
| 3.5.2 数值仿真 | 第67-68页 |
| 3.6 本章小结 | 第68-70页 |
| 第四章 残余振动的主动抑制方法研究 | 第70-84页 |
| 4.1 引言 | 第70-71页 |
| 4.2 静电致动模型 | 第71-73页 |
| 4.3 静态分析 | 第73-74页 |
| 4.4 动态分析 | 第74-76页 |
| 4.5 多级阶跃输入波形控制 | 第76-82页 |
| 4.6 本章小结 | 第82-84页 |
| 第五章 考虑参数不确定性的改进型非线性比例—微分控制 | 第84-104页 |
| 5.1 引言 | 第84-85页 |
| 5.2 微镜模型 | 第85-88页 |
| 5.3 非线性PD控制系统中的静态误差 | 第88-90页 |
| 5.4 组合控制策略 | 第90-94页 |
| 5.4.1 等效的比例-微分控制 | 第91-92页 |
| 5.4.2 滑模控制及稳定性 | 第92页 |
| 5.4.3 设计控制器增益 | 第92-94页 |
| 5.5 仿真验证 | 第94-100页 |
| 5.5.2 参数不确定的鲁棒性 | 第94-97页 |
| 5.5.3 突发干扰的鲁棒性 | 第97-98页 |
| 5.5.4 扭转角测量误差的影响 | 第98-99页 |
| 5.5.5 扫描控制 | 第99-100页 |
| 5.6 降低颤振 | 第100-101页 |
| 5.7 本章小结 | 第101-104页 |
| 第六章 总结与展望 | 第104-106页 |
| 6.1 总结 | 第104-105页 |
| 6.2 研究工作展望 | 第105-106页 |
| 参考文献 | 第106-112页 |
| 致谢 | 第112-114页 |
| 作者简介 | 第114-116页 |