基于6sigma理论的晶圆外观质量控制研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 本论文选题背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 文献综述 | 第10-17页 |
| 1.2.1 国内外研究现状 | 第10-17页 |
| 1.2.2 国内外应用情况 | 第17页 |
| 1.3 主要研究的方法和内容 | 第17-21页 |
| 第二章 S 公司的来料外观质量管理的现状分析 | 第21-29页 |
| 2.1 S 公司的概况 | 第21页 |
| 2.2 S 公司的来料外观质量管理现状概述 | 第21-24页 |
| 2.3 S 公司来料外观质量管理存在的问题及分析 | 第24-27页 |
| 2.4 选用六西格玛方法在改善来料外观坏品的起因 | 第27-28页 |
| 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 六西格玛在降低晶圆来料外观坏品中的应用 | 第29-55页 |
| 3.1 问题的描述 | 第29页 |
| 3.2 项目目标 | 第29-31页 |
| 3.3 定义阶段 | 第31-35页 |
| 3.3.1 项目的来源 | 第31页 |
| 3.3.2 项目的选定 | 第31-32页 |
| 3.3.3 缺陷的定义 | 第32-33页 |
| 3.3.4 界定项目范围 | 第33-35页 |
| 3.3.5 确定改进的方向 | 第35页 |
| 3.4 测量阶段 | 第35-41页 |
| 3.4.1 测量系统分析 | 第36-39页 |
| 3.4.2 影响因素的初步分析 | 第39-41页 |
| 3.5 分析阶段 | 第41-47页 |
| 3.5.1 图形及其量化分析结果 | 第42-46页 |
| 3.5.3 关键影响因子的分析结果 | 第46-47页 |
| 3.6 改进阶段 | 第47-52页 |
| 3.6.1 试验的验证 | 第47-48页 |
| 3.6.2 改进方案的设计 | 第48-52页 |
| 3.7 控制阶段 | 第52-55页 |
| 3.7.1 制定控制计划 | 第53页 |
| 3.7.2 改进前后的对比 | 第53-55页 |
| 第四章 项目应用效果分析 | 第55-62页 |
| 4.1 六西格玛在改善外观质量的实施效果测评 | 第55-59页 |
| 4.1.1 改善后工序目标达成程度 | 第55-57页 |
| 4.1.2 项目的效益评估 | 第57页 |
| 4.1.3 项目的应用效果 | 第57-59页 |
| 4.2 成果推广应用 | 第59页 |
| 4.3 项目关键工作进度管理的影响因素 | 第59-60页 |
| 4.4 后续计划 | 第60-62页 |
| 结论 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 附件 | 第68页 |
