柔性传感器件材料表征、结构设计以及系统应用
致谢 | 第5-7页 |
摘要 | 第7-9页 |
Abstract | 第9-10页 |
缩略词表 | 第11-15页 |
第1章 绪论 | 第15-27页 |
1.1 引言 | 第15-16页 |
1.2 柔性传感器件的发展与科学问题 | 第16-20页 |
1.3 柔性传感器件的应用 | 第20-24页 |
1.3.1 柔性传感器件在压力传感上的应用 | 第20-21页 |
1.3.2 柔性传感器件在应变传感上的应用 | 第21-22页 |
1.3.3 柔性传感器件在温度传感上的应用 | 第22-23页 |
1.3.4 柔性传感器件在医疗领域的应用 | 第23-24页 |
1.4 论文章节安排 | 第24-27页 |
1.4.1 论文研究的意义与创新点 | 第24-25页 |
1.4.2 论文章节安排 | 第25-27页 |
第2章 柔性传感器的材料、设计以及工作原理 | 第27-47页 |
2.1 衬底材料 | 第27-29页 |
2.2 功能材料 | 第29-37页 |
2.2.1 金属材料 | 第29-31页 |
2.2.2 无机非金属材料 | 第31-32页 |
2.2.3 高分子材料 | 第32-35页 |
2.2.4 复合材料 | 第35-37页 |
2.3 柔性传感器的结构设计 | 第37-42页 |
2.3.1 可弯曲传感器 | 第37-39页 |
2.3.2 可拉伸传感器 | 第39-42页 |
2.4 柔性传感器的工作原理 | 第42-44页 |
2.4.1 电阻式传感器 | 第42-43页 |
2.4.2 电容式传感器 | 第43页 |
2.4.3 压电式传感器 | 第43-44页 |
2.4.4 光电式传感器 | 第44页 |
2.5 柔性传感器的制备工艺 | 第44-46页 |
2.5.1 光刻 | 第44-45页 |
2.5.2 刻蚀 | 第45-46页 |
2.6 本章小结 | 第46页 |
附件 | 第46-47页 |
第3章 柔性传感器件材料力学性能表征方法研究 | 第47-67页 |
3.1 柔性传感器材料性能表征 | 第49-54页 |
3.1.1 基于应力应变曲线研究方法 | 第49页 |
3.1.2 基于预拉伸的材料力学性能研究方法 | 第49-51页 |
3.1.3 基于纳米压痕的材料力学性能研究方法 | 第51-54页 |
3.2 基底材料力学性能表征 | 第54-59页 |
3.2.1 基于应力-应变曲线的力学性能测试 | 第54-55页 |
3.2.2 基于预拉伸方法的材料力学性能测试 | 第55-58页 |
3.2.3 基于纳米压痕的材料力学性能测试 | 第58-59页 |
3.2.4 结果讨论 | 第59页 |
3.3 有机半导体材料力学性能研究 | 第59-65页 |
3.3.1 有机半导体材料 | 第60页 |
3.3.2 基于应力应变曲线的力学性能测试 | 第60-62页 |
3.3.3 基于预拉伸的力学性能测试 | 第62-63页 |
3.3.4 基于纳米压痕的力学性能测试 | 第63-65页 |
3.4 本章小结 | 第65-66页 |
附件 | 第66-67页 |
第4章 基于碳纳米管的高分辨率类皮肤传感器 | 第67-85页 |
4.1 基于纳米管的类皮肤传感器的制备 | 第68-71页 |
4.1.1 器件的结构设计 | 第68-69页 |
4.1.2 测试平台的搭建 | 第69-71页 |
4.2 器件基本性能的表征 | 第71-76页 |
4.3 类皮肤传感器对皮肤感觉的模拟 | 第76-82页 |
4.4 类皮肤传感器对三维形变的检测与复原 | 第82-83页 |
4.5 对于多种感觉的同时感知的讨论 | 第83-84页 |
4.6 本章小结 | 第84页 |
附件 | 第84-85页 |
第5章 基于聚吡咯微粒的高灵敏度压力传感器 | 第85-101页 |
5.1 背景介绍 | 第85-86页 |
5.2 微流控技术 | 第86-90页 |
5.3 压力传感器的传感材料制备 | 第90-93页 |
5.3.1 基于微流控技术的聚吡咯颗粒制备工艺 | 第90-92页 |
5.3.2 聚吡咯颗粒的直接制备工艺 | 第92-93页 |
5.4 压力传感器的结构设计与制备工艺 | 第93-94页 |
5.5 压力传感器的性能表征 | 第94-100页 |
5.5.1 测试系统 | 第94-95页 |
5.5.2 测试结果与讨论 | 第95-100页 |
5.6 本章小结 | 第100-101页 |
第6章 应用于机器手的类皮肤传感系统 | 第101-134页 |
6.1 类皮肤传感系统 | 第101-103页 |
6.1.1 系统设计方案 | 第102-103页 |
6.2 针对柔性传感器件的封装方法 | 第103-106页 |
6.2.1 常用的柔性传感器接口封装方法 | 第103-104页 |
6.2.2 基于液态金属的柔性传感器封装方法 | 第104-106页 |
6.3 应变传感器的制备与测试 | 第106-111页 |
6.3.1 应变传感器的制备工艺 | 第107-108页 |
6.3.2 应变传感器的性能表征 | 第108-111页 |
6.4 压力传感器的制备与测试 | 第111-117页 |
6.4.1 压力传感器的制备工艺 | 第111-114页 |
6.4.2 压力传感器的性能表征 | 第114-117页 |
6.5 温度传感器的制备与测试 | 第117-118页 |
6.5.1 温度传感器的制备工艺 | 第117页 |
6.5.2 温度传感器的性能表征 | 第117-118页 |
6.6 加热器的制备与测试 | 第118-122页 |
6.6.1 一种大规模、高精度柔性器件制备工艺 | 第119-121页 |
6.6.2 加热器的性能表征 | 第121-122页 |
6.7 测试系统的搭建 | 第122-124页 |
6.7.1 测试电路的搭建 | 第122-123页 |
6.7.2 测试系统 | 第123-124页 |
6.8 触压觉模拟 | 第124-127页 |
6.9 温觉模拟 | 第127-131页 |
6.10 测试结果与讨论 | 第131-132页 |
6.11 本章小结 | 第132-133页 |
附件 | 第133-134页 |
第7章 总结与展望 | 第134-137页 |
7.1 论文的主要内容 | 第134-135页 |
7.2 论文的主要创新点 | 第135-136页 |
7.3 论文的不足之处与未来的展望 | 第136-137页 |
参考文献 | 第137-145页 |
作者简介以及在校期间取得的科研成果 | 第145-146页 |