内径测量微型精密光学测头及其信号处理研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-12页 |
| 1.1 引言 | 第8页 |
| 1.2 光电微位移检测发展与现状 | 第8-10页 |
| 1.3 本文的主要工作与意义 | 第10-12页 |
| 第二章 光学测头测量原理 | 第12-23页 |
| 2.1 测量原理 | 第12-15页 |
| 2.2 测头设计原理 | 第15-16页 |
| 2.3 微型机械结构 | 第16-20页 |
| 2.3.1 测棒机械结构 | 第17页 |
| 2.3.2 测头机械结构 | 第17-18页 |
| 2.3.3 PSD 传感器结构 | 第18-20页 |
| 2.3.4 光学结构固定 | 第20页 |
| 2.4 测量误差分析 | 第20-23页 |
| 第三章 PSD 特性及其误差影响 | 第23-36页 |
| 3.1 光电位移传感器的选择比较 | 第23-24页 |
| 3.2 PSD 工作原理 | 第24-25页 |
| 3.3 PSD 主要光电性能特性 | 第25-30页 |
| 3.4 PSD 器件型号选择 | 第30页 |
| 3.5 PSD 工作条件及其使用性能影响 | 第30-31页 |
| 3.6 光源选择 | 第31-36页 |
| 第四章 系统硬件分析与设计 | 第36-56页 |
| 4.1 信号处理电路 | 第36-43页 |
| 4.1.1 前置放大电路 | 第36-38页 |
| 4.1.2 次级放大电路 | 第38-40页 |
| 4.1.3 元件参数标定 | 第40-42页 |
| 4.1.4 背景光暗电流干扰消除 | 第42-43页 |
| 4.2 A/D 转换电路 | 第43-48页 |
| 4.2.1 A/D 转换芯片选择 | 第43-45页 |
| 4.2.2 A/D 模块电路 | 第45-46页 |
| 4.2.3 A/D 误差分析 | 第46-47页 |
| 4.2.4 A/D 模块软件 | 第47-48页 |
| 4.3 单片机系统电路 | 第48-49页 |
| 4.3.1 开发环境和编译器 | 第48-49页 |
| 4.3.2 单片机电路 | 第49页 |
| 4.4 通信电路设计 | 第49-56页 |
| 4.4.1 RS232 串行通信 | 第49-51页 |
| 4.4.2 串行通信电路设计 | 第51-53页 |
| 4.4.3 串行通信软件设计 | 第53-56页 |
| 第五章 实验及误差分析 | 第56-60页 |
| 5.1 实验设计 | 第56-57页 |
| 5.2 误差分析 | 第57-60页 |
| 5.2.1 电路误差 | 第57页 |
| 5.2.2 测头结构误差 | 第57-60页 |
| 第六章 全文总结与工作展望 | 第60-62页 |
| 6.1 全文总结 | 第60页 |
| 6.2 工作展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
