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溶胶凝胶法制备二氧化锡基低辐射薄膜及其性能研究

摘要第5-7页
Abstract第7-8页
第一章 绪论第11-33页
    1.1 前言第11-12页
    1.2 低辐射镀膜玻璃概述第12-16页
        1.2.1 低辐射镀膜玻璃简介第12-13页
        1.2.2 低辐射镀膜玻璃相关理论第13-16页
    1.3 SnO_2透明导电薄膜概述第16-23页
        1.3.1 SnO_2的基本结构第16-17页
        1.3.2 SnO_2的光学与电学性质第17-18页
        1.3.3 SnO_2薄膜的研究进展第18-23页
    1.4 溶胶-凝胶制备技术第23-32页
        1.4.1 溶胶-凝胶法的基本概念和特点第23-26页
        1.4.2 溶胶-凝胶过程理论研究第26-30页
        1.4.3 溶胶-凝胶法制备薄膜材料第30-32页
    1.5 本课题研究目的及主要内容第32-33页
第二章 溶胶-凝胶法制备Sb掺杂SnO_2薄膜第33-38页
    2.1 实验原料第33页
    2.2 实验设备第33-34页
    2.3 薄膜制备过程第34-36页
        2.3.1 溶胶的配制第34-35页
        2.3.2 玻璃基底的清洗第35页
        2.3.3 浸渍提拉镀膜和热处理第35-36页
    2.4 表征方法第36-38页
        2.4.1 X射线衍射(XRD)分析第36页
        2.4.2 X射线光电子能谱(XPS)分析第36页
        2.4.3 扫描电子显微镜(SEM)分析第36-37页
        2.4.4 薄膜光学性能测试第37页
        2.4.5 薄膜电学性能测试第37-38页
第三章 SnO_2: Sb薄膜的结构与性能第38-50页
    3.1 掺杂量对SnO_2: Sb薄膜结构与光电性能的影响第38-43页
        3.1.1 掺杂量对SnO_2: Sb薄膜结构的影响第38-41页
        3.1.2 掺杂量对SnO_2: Sb薄膜光电性能的影响第41-43页
    3.2 提拉镀膜次数对SnO_2: Sb薄膜结构与光电性能的影响第43-47页
        3.2.1 提拉镀膜次数对SnO_2:Sb薄膜结构的影响第43-46页
        3.2.2 提拉镀膜次数对SnO_2: Sb薄膜光电性能的影响第46-47页
    3.3 热处理温度对SnO_2: Sb薄膜结构与光电性能的影响第47-49页
        3.3.1 热处理温度对SnO_2: Sb薄膜结构的影响第47页
        3.3.2 热处理温度对SnO_2: Sb薄膜光电性能的影响第47-49页
    3.4 本章小结第49-50页
第四章 SnO_2: Sb薄膜红外光学性能机理分析第50-58页
    4.1 引言第50页
    4.2 掺杂量对SnO_2: Sb薄膜红外光学性能的影响第50-54页
    4.3 提拉镀膜次数对SnO_2: Sb薄膜红外光学性能的影响第54-56页
    4.4 讨论第56-57页
    4.5 本章小结第57-58页
第五章 影响SnO_2: Sb薄膜表面雾化和开裂因素初探第58-64页
    5.1 引言第58页
    5.2 SnO_2: Sb薄膜表面的雾化问题第58-60页
    5.3 SnO_2: Sb薄膜的开裂问题第60-63页
        5.3.1 干燥温度对薄膜开裂的影响第60页
        5.3.2 热处理升温速率对薄膜开裂的影响第60-62页
        5.3.3 溶胶陈化时间对薄膜开裂的影响第62-63页
    5.4 本章小结第63-64页
结论第64-66页
参考文献第66-74页
致谢第74-75页
作者简介及读研期间主要科研成果第75页

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