| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 选题的背景与意义 | 第10-11页 |
| 1.2 THz超材料生物传感的研究进展及趋势 | 第11-16页 |
| 1.2.1 THz的特性 | 第11-12页 |
| 1.2.2 超材料器件 | 第12-13页 |
| 1.2.3 THz超材料生物传感的研究现状及趋势 | 第13-16页 |
| 1.3 本论文拟解决的关键问题 | 第16-17页 |
| 1.4 论文的主要研究内容及章节安排 | 第17-19页 |
| 第2章 THz超材料生物传感的理论基础 | 第19-24页 |
| 2.1 等效介质理论 | 第19-21页 |
| 2.2 等效电路模型 | 第21-23页 |
| 2.3 小结 | 第23-24页 |
| 第3章 THz超材料生物传感芯片的设计 | 第24-37页 |
| 3.1 THz生物传感实验系统介绍 | 第24-25页 |
| 3.2 设计方法及评价指标 | 第25-26页 |
| 3.3 三种结构芯片的设计 | 第26-35页 |
| 3.3.1 亚波长金属块阵列的THz传感芯片的设计 | 第26-29页 |
| 3.3.2 无偏振依赖的四边开口谐振环的设计 | 第29-33页 |
| 3.3.3 多环谐振器的设计 | 第33-35页 |
| 3.4 小结 | 第35-37页 |
| 第4章 THz超材料生物传感芯片的制作及表征 | 第37-41页 |
| 4.1 光刻工艺的基本知识 | 第37页 |
| 4.2 基于不同衬底的传感芯片的制作及表征 | 第37-40页 |
| 4.2.1 基于PET薄膜基底的结构制备及表征 | 第37-39页 |
| 4.2.2 基于硅衬底的结构制备及表征 | 第39-40页 |
| 4.3 小结 | 第40-41页 |
| 第5章 THz生物传感实验测试 | 第41-49页 |
| 5.1 三种芯片的传感实验及分析 | 第41-45页 |
| 5.1.1 亚波长金属块阵列的传感实验测试 | 第41-42页 |
| 5.1.2 无偏振依赖的四边开口谐振环的传感性能测试 | 第42-44页 |
| 5.1.3 多环谐振器的传感测试 | 第44-45页 |
| 5.2 超材料用于THz生物传感的应用分析 | 第45-48页 |
| 5.3 小结 | 第48-49页 |
| 第6章 结束语 | 第49-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
| 攻读硕士学位期间的科研成果 | 第55页 |