| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 光学传感技术介绍 | 第9-12页 |
| 1.1.1 光学传感器研究背景 | 第9-10页 |
| 1.1.2 基于波导结构的干涉型传感器分类 | 第10-12页 |
| 1.2 国内外研究现状及分析 | 第12-15页 |
| 1.3 本文的研究意义与内容安排 | 第15-16页 |
| 1.4 本章小结 | 第16-17页 |
| 第二章 光波导上微干涉结构的数值仿真 | 第17-32页 |
| 2.1 介质波导的马卡提里近似分析方法 | 第17-21页 |
| 2.2 圆柱坐标系下的波动方程 | 第21-25页 |
| 2.3 光波导上干涉微结构的数值仿真 | 第25-31页 |
| 2.3.1 有限元法计算仿真简介 | 第25-27页 |
| 2.3.2 平板光波导上的珐珀腔的有限元仿真 | 第27-29页 |
| 2.3.3 光纤栅的薄膜传输矩阵模型仿真 | 第29-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 基于深紫外激光加工的平面波导迈克尔逊干涉仪的研究 | 第32-43页 |
| 3.1 深紫外激光器微加工工艺 | 第32-33页 |
| 3.2 传感器的制作过程 | 第33-35页 |
| 3.3 基于迈克尔逊干涉结构的平面波导折射率传感器 | 第35-40页 |
| 3.3.1 传感器的传感原理 | 第35-37页 |
| 3.3.2 传感器折射率测量的数值模拟 | 第37-38页 |
| 3.3.3 传感器折射率测量实验 | 第38-40页 |
| 3.4 基于迈克尔逊干涉结构的平面波导传感器的温度特性研究 | 第40-42页 |
| 3.4.1 传感器温度特性的特性的理论计算 | 第40-41页 |
| 3.4.2 传感器温度特性的特性的实验分析 | 第41-42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 光纤微干涉结构高温下双物理参数的同时测量 | 第43-63页 |
| 4.1 再生光纤光栅的传感原理 | 第43-46页 |
| 4.1.1 光纤光栅的模耦合理论 | 第43-44页 |
| 4.1.2 光纤光栅的传感模型 | 第44-46页 |
| 4.1.3 再生光纤光栅的基本原理 | 第46页 |
| 4.2 光纤珐珀腔的传感原理 | 第46-49页 |
| 4.2.1 双光束反射原理 | 第46-48页 |
| 4.2.2 开放式光纤珐珀腔测量空气压力的基本原理 | 第48-49页 |
| 4.3 再生光纤光栅与珐珀叠加结构的双物理参数同时测量原理 | 第49-51页 |
| 4.4 光纤光栅与珐珀叠加结构的传感性能的数值仿真 | 第51-53页 |
| 4.5 传感器的制作过程 | 第53-56页 |
| 4.5.1 开放式光纤珐珀腔的制作过程 | 第53-55页 |
| 4.5.2 再生光纤光栅的制作过程 | 第55-56页 |
| 4.6 传感器在高温环境下温度与压力（应变）的同时测量 | 第56-62页 |
| 4.6.1 传感器的温度特性的实验 | 第56-57页 |
| 4.6.2 传感器的压力响应特性的实验 | 第57-59页 |
| 4.6.3 传感器的应变响应特性的实验 | 第59-62页 |
| 4.7 本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 全文总结与展望 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第68-69页 |
