| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 引言 | 第8-9页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 等离子体简介 | 第9-10页 |
| 1.2 介质阻挡放电 | 第10-14页 |
| 1.2.1 介质阻挡放电的基本结构 | 第10-11页 |
| 1.2.2 介质阻挡放电的物理过程 | 第11-12页 |
| 1.2.3 介质阻挡放电的主要参量 | 第12-14页 |
| 1.3 等离子体诊断方法 | 第14-18页 |
| 1.3.1 发射光谱法 | 第14-16页 |
| 1.3.2 吸收光谱法 | 第16-18页 |
| 1.4 本文的选题及主要工作 | 第18-19页 |
| 2 实验装置和实验方法 | 第19-25页 |
| 2.1 介质阻挡放电系统 | 第19-21页 |
| 2.1.1 放电腔室结构 | 第19-20页 |
| 2.1.2 抽气和配气系统 | 第20页 |
| 2.1.3 李萨茹图形测量系统 | 第20-21页 |
| 2.2 光谱诊断系统 | 第21-25页 |
| 2.2.1 发射光谱诊断系统 | 第21-22页 |
| 2.2.2 吸收光谱诊断系统 | 第22-25页 |
| 3 发射光谱测定电子温度和亚稳态数密度 | 第25-38页 |
| 3.1 电子温度的光谱诊断方法 | 第25-30页 |
| 3.1.1 费米-狄拉克模型 | 第26-28页 |
| 3.1.2 日冕模型 | 第28-30页 |
| 3.2 电子温度随放电参数的变化结果 | 第30-33页 |
| 3.2.1 放电电压对电子温度的影响 | 第30-31页 |
| 3.2.2 放电气压对电子温度的影响 | 第31-32页 |
| 3.2.3 气体流量对电子温度的影响 | 第32-33页 |
| 3.2.4 N_2含量对电子温度的影响 | 第33页 |
| 3.3 发射光谱分支比法测亚稳态数密度 | 第33-37页 |
| 3.3.1 分支比法的原理 | 第33-36页 |
| 3.3.2 分支比法求亚稳态度密度的结果 | 第36-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 4 可调谐二极管激光吸收光谱法对介质阻挡放电氩等离子体的诊断 | 第38-51页 |
| 4.1 可调谐激光二极管吸收光谱技术诊断原理 | 第38-42页 |
| 4.1.1 亚稳态数密度的计算方法 | 第38-40页 |
| 4.1.2 气体温度的计算方法 | 第40-42页 |
| 4.2 放电参数对亚稳态数密度和气体温度的影响 | 第42-49页 |
| 4.2.1 放电电压对亚稳态数密度和气体温度的影响 | 第42-44页 |
| 4.2.2 气体压强对亚稳态数密度和气体温度的影响 | 第44-45页 |
| 4.2.3 气体流量对亚稳态数密度和气体温度的影响 | 第45-47页 |
| 4.2.4 极板间距对亚稳态数密度和气体温度的影响 | 第47-48页 |
| 4.2.5 N_2配比对亚稳态数密度和气体温度的影响 | 第48-49页 |
| 4.3 发射光谱法求数密度与吸收光谱法的对比 | 第49-50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 结论 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-58页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
