| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 1 引言 | 第13-15页 |
| 2 文献综述 | 第15-32页 |
| 2.1 磁记录材料 | 第15-21页 |
| 2.1.1 磁记录的发展 | 第15-17页 |
| 2.1.2 磁记录技术简介 | 第17-20页 |
| 2.1.3 超高密度磁记录材料 | 第20-21页 |
| 2.2 L1_0-FePt合金的结构及特点 | 第21-23页 |
| 2.3 L1_0-FePt薄膜的研究热点 | 第23-24页 |
| 2.4 L1_0-FePt薄膜低温有序化转变的研究 | 第24-28页 |
| 2.4.1 多层膜结构 | 第24页 |
| 2.4.2 第三元素掺杂 | 第24-26页 |
| 2.4.3 不同插入层 | 第26-27页 |
| 2.4.4 不同退火工艺 | 第27-28页 |
| 2.5 L1_0-FePt薄膜中(001)纤维织构的控制 | 第28-32页 |
| 2.5.1 L1_0-FePt薄膜的外延生长 | 第28-29页 |
| 2.5.2 L1_0-FePt薄膜的非外延生长 | 第29-32页 |
| 3 课题来源与意义 | 第32-34页 |
| 3.1 课题来源 | 第32页 |
| 3.2 课题背景及意义 | 第32-34页 |
| 4 研究内容与方法 | 第34-40页 |
| 4.1 研究内容 | 第34-35页 |
| 4.2 薄膜的制备 | 第35-36页 |
| 4.2.1 制备方法 | 第35页 |
| 4.2.2 制备过程 | 第35-36页 |
| 4.2.3 真空退火处理 | 第36页 |
| 4.3 薄膜的结构与性能表征 | 第36-40页 |
| 4.3.1 原子力显微镜(AFM) | 第36-37页 |
| 4.3.2 扫描电子显微镜(SEM)及背散射电子衍射(EBSD) | 第37页 |
| 4.3.3 X射线衍射仪(XRD) | 第37-38页 |
| 4.3.4 透射电子显微镜(TEM) | 第38-39页 |
| 4.3.5 差示扫描量热仪(DSC) | 第39页 |
| 4.3.6 薄膜磁性测试 | 第39-40页 |
| 5 FePt薄膜有序化转变的研究 | 第40-63页 |
| 引言 | 第40-41页 |
| 5.1 溅射气压对FePt薄膜的有序化转变的影响 | 第41-54页 |
| 5.1.1 不同溅射气压下FePt薄膜的晶体结构 | 第41-43页 |
| 5.1.2 不同溅射气压下FePt薄膜的表面形貌 | 第43-48页 |
| 5.1.3 不同溅射气压下FePt薄膜的微观结构 | 第48-52页 |
| 5.1.4 不同溅射气压下FePt薄膜的磁性能 | 第52-54页 |
| 5.2 FePt薄膜的晶粒长大过程研究 | 第54-58页 |
| 5.2.1 不同退火状态下FePt薄膜的晶粒尺寸 | 第55-56页 |
| 5.2.2 FePt薄膜的晶粒长大机制 | 第56-58页 |
| 5.3 FePt薄膜的有序化转变动力学研究 | 第58-62页 |
| 5.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 6 L1_0-FePt薄膜中织构的研究 | 第63-102页 |
| 引言 | 第63页 |
| 6.1 L1_0-FePt薄膜织构的形成过程 | 第63-65页 |
| 6.2 L1_0-FePt薄膜弹性常数的计算 | 第65-73页 |
| 6.3 L1_0-FePt薄膜中应变状态对织构的影响 | 第73-76页 |
| 6.4 退火过程中L1_0-FePt薄膜织构的变化 | 第76-91页 |
| 6.4.1 退火温度对L1_0-FePt薄膜织构的影响 | 第77-87页 |
| 6.4.2 退火时间对L1_0-FePt薄膜织构的影响 | 第87-91页 |
| 6.5 退火过程中L1_0-FePt薄膜微观结构的变化 | 第91-101页 |
| 6.6 本章小结 | 第101-102页 |
| 7 L1_0-FePt薄膜中(001)纤维织构的控制 | 第102-113页 |
| 引言 | 第102页 |
| 7.1 实验方法 | 第102页 |
| 7.2 退火方式对L1_0-FePt薄膜(001)纤维织构的影响 | 第102-108页 |
| 7.3 薄膜厚度对L1_0-FePt薄膜(001)纤维织构的影响 | 第108-112页 |
| 7.4 本章小结 | 第112-113页 |
| 8 结论 | 第113-115页 |
| 主要创新点 | 第115-116页 |
| 参考文献 | 第116-127页 |
| 作者简历及在学研究成果 | 第127-129页 |
| 学位论文数据集 | 第129页 |
