| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-26页 |
| 1.1 论文的研究背景和意义 | 第12-14页 |
| 1.2 振动微机械陀螺研究现状 | 第14-24页 |
| 1.2.1 微机械陀螺系统国外研制情况 | 第15-20页 |
| 1.2.2 微机械陀螺系统国内研制情况 | 第20-24页 |
| 1.3 本文工作内容 | 第24-26页 |
| 第2章 微陀螺系统模型和理论基础 | 第26-42页 |
| 2.1 微机械角速率陀螺 | 第26-30页 |
| 2.1.1 单振动质量微陀螺工作原理 | 第26-29页 |
| 2.1.2 多框架解耦结构微陀螺仪 | 第29-30页 |
| 2.2 微陀螺系统的信息传递与噪声分析 | 第30-35页 |
| 2.2.1 微陀螺系统的信息传递 | 第30-32页 |
| 2.2.2 微陀螺系统的噪声分析 | 第32-33页 |
| 2.2.3 微陀螺系统的物理场分析 | 第33-35页 |
| 2.3 电容检测方式的分析与选取 | 第35-38页 |
| 2.3.1 可变正对面积电容（交叉梳齿） | 第35-36页 |
| 2.3.2 可变间隙电容（平行板电容） | 第36-38页 |
| 2.3.3 微机电系统中的平行板电容器与交叉梳齿电容器选择 | 第38页 |
| 2.4 微陀螺系统的电路建模和设计流程 | 第38-41页 |
| 2.4.1 在微陀螺系统中的等效网络表示 | 第38-40页 |
| 2.4.2 微系统物理场建模特点分析和设计流程 | 第40-41页 |
| 2.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 第3章 多自由度微陀螺结构参数对其性能影响分析 | 第42-60页 |
| 3.1 引言 | 第42-43页 |
| 3.2 四自由度微陀螺的结构与建模 | 第43-46页 |
| 3.2.1 微陀螺结构设计与工作原理 | 第43-44页 |
| 3.2.2 多自由度微陀螺动力学模型 | 第44-46页 |
| 3.3 陀螺响应特性分析 | 第46-48页 |
| 3.3.1 阻尼对感应模态性能的影响 | 第46页 |
| 3.3.2 感应模态的增益和带宽分析 | 第46-48页 |
| 3.4 陀螺参数的选取和系统仿真 | 第48-57页 |
| 3.4.1 微陀螺参数的选取 | 第48-49页 |
| 3.4.2 微系统振动响应特性分析 | 第49-55页 |
| 3.4.3 微系统幅频特性验证 | 第55-57页 |
| 3.5 本章小结 | 第57-60页 |
| 第4章 反相位激励双解耦微机械陀螺设计 | 第60-72页 |
| 4.1 引言 | 第60-61页 |
| 4.2 反相位振动微陀螺设计和工作原理 | 第61-62页 |
| 4.2.1 反相位解耦陀螺设计 | 第61页 |
| 4.2.2 反相位振动微陀螺系统工作原理 | 第61-62页 |
| 4.3 反相位微陀螺动力学分析和设计 | 第62-66页 |
| 4.3.1 反相位微陀螺激励模态分析 | 第62-64页 |
| 4.3.2 反相位微陀螺感应模态分析 | 第64-66页 |
| 4.4 反相位振动微陀螺的参数设定和仿真分析 | 第66-71页 |
| 4.4.1 微陀螺的参数设定 | 第66-67页 |
| 4.4.2 陀螺特性仿真分析 | 第67-71页 |
| 4.5 本章小结 | 第71-72页 |
| 第5章 多感应振荡器解耦微陀螺设计 | 第72-88页 |
| 5.1 单自由度与二自由度感应振荡器组合解耦微陀螺 | 第72-77页 |
| 5.1.1 单自由度与二自由度感应振荡器组合微陀螺构架设计 | 第72-73页 |
| 5.1.2 单自由度与二自由度感应振荡器组合微陀螺检测原理 | 第73页 |
| 5.1.3 激励方向分析和设计 | 第73-74页 |
| 5.1.4 感应方向分析和设计 | 第74-76页 |
| 5.1.5 微陀螺的参数设定 | 第76-77页 |
| 5.2 双二自由度感应振荡器组合微陀螺结构及检测原理 | 第77-82页 |
| 5.2.1 双二自由度感应振荡器组合微陀螺框架构建 | 第77页 |
| 5.2.2 双二自由度感应振荡器组合微陀螺的检测原理 | 第77-78页 |
| 5.2.3 数学方程的列写和动力学分析 | 第78-79页 |
| 5.2.4 振动结构的设计方程 | 第79-81页 |
| 5.2.5 微陀螺的参数设定 | 第81-82页 |
| 5.3 仿真结果分析 | 第82-87页 |
| 5.3.1 单自由度与二自由度感应振荡器微陀螺仿真结果分析 | 第82-84页 |
| 5.3.2 双二自由度感应振荡器微陀螺仿真结果分析 | 第84-87页 |
| 5.4 本章小结 | 第87-88页 |
| 第6章 可变幅值检测和频率检测的角速率微陀螺设计 | 第88-102页 |
| 6.1 可变检测方式微陀螺结构和工作模态 | 第88-94页 |
| 6.1.1 双检测方式微陀螺结构 | 第88-89页 |
| 6.1.2 幅值检测下的第一工作模式 | 第89-91页 |
| 6.1.3 频率检测下的第二工作模式 | 第91-93页 |
| 6.1.4 二自由度激励模态幅值检测工作模式 | 第93-94页 |
| 6.2 特征参数的设定和仿真 | 第94-97页 |
| 6.2.1 机械结构的特性参数设定 | 第94页 |
| 6.2.2 仿真结果分析 | 第94-97页 |
| 6.3 微陀螺的加工工艺和ConventorWare建模 | 第97-101页 |
| 6.3.1 微陀螺的加工工艺 | 第97-98页 |
| 6.3.2 微陀螺ConventorWare仿真模型的建立 | 第98-101页 |
| 6.4 本章小结 | 第101-102页 |
| 第7章 牵引作用与优化斜尖端电容检测原理和构建 | 第102-118页 |
| 7.1 平行板电容器中的牵引效应的静态分析 | 第102-105页 |
| 7.2 激励对梳齿电容静态响应特性的影响 | 第105-109页 |
| 7.2.1 静态非对称牵引效应 | 第106-107页 |
| 7.2.2 静态对称牵引效应 | 第107-109页 |
| 7.3 斜尖端电容梳齿建模分析 | 第109-111页 |
| 7.4 斜尖端电容齿梳结构参数设定和实验验证 | 第111-116页 |
| 7.4.1 斜尖端电容齿梳结构的参数设定 | 第111页 |
| 7.4.2 斜尖端电容齿梳结构仿真分析和实验验证 | 第111-116页 |
| 7.5 本章小结 | 第116-118页 |
| 结论 | 第118-121页 |
| 参考文献 | 第121-130页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第130-131页 |
| 致谢 | 第131页 |
