| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 飞秒激光与物质的相互作用 | 第11-13页 |
| 1.3 飞秒激光微加工简介 | 第13-14页 |
| 1.4 飞秒激光诱导表面自组装周期结构进展 | 第14-18页 |
| 1.4.1 飞秒激光在半导体表面诱导微纳米结构 | 第14-15页 |
| 1.4.2 飞秒激光在金属表面诱导微纳结构 | 第15-17页 |
| 1.4.3 飞秒激光在电介质表面诱导微纳结构 | 第17-18页 |
| 1.5 本课题研究意义及国内外研究现状 | 第18-21页 |
| 1.5.1 课题意义 | 第18-19页 |
| 1.5.2 双脉冲列诱导材料表面自组装周期结构的国内外研究进展 | 第19-21页 |
| 1.6 课题研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 实验方法和实验设备 | 第23-28页 |
| 2.1 飞秒激光产生装置和加工系统 | 第23-25页 |
| 2.1.1 飞秒激光双脉冲序列产生装置 | 第23-24页 |
| 2.1.2 1kHz飞秒激光系统和共聚焦显微系统 | 第24-25页 |
| 2.2 实验方法 | 第25-26页 |
| 2.3 实验结果表征时所需设备 | 第26-28页 |
| 2.3.1 扫描电子显微镜 | 第26页 |
| 2.3.2 DXR激光拉曼光谱仪 | 第26-28页 |
| 第三章 飞秒激光双脉冲序列诱导ZnO表面周期结构及表面增强拉曼散射特性研究 | 第28-43页 |
| 3.1 平行偏振双脉冲列对ZnO表面周期结构的调控实验 | 第29-36页 |
| 3.1.1 实验方法 | 第29页 |
| 3.1.2 实验结果与讨论 | 第29-36页 |
| 3.2 激光诱导ZnO表面结构及其表面增强拉曼效应研究 | 第36-38页 |
| 3.2.1 实验方案 | 第37-38页 |
| 3.3 实验结果与讨论 | 第38-42页 |
| 3.3.1 交叉偏振双脉冲列诱导ZnO表面的烧蚀结果 | 第38-40页 |
| 3.3.2 显微拉曼光谱的检测及讨论 | 第40-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 双脉冲列诱导 6H-SiC表面周期结构及双折射特性研究 | 第43-57页 |
| 4.1 平行偏振双脉冲列烧蚀 6H-SiC实验方案 | 第44-47页 |
| 4.1.1 烧蚀区域双折射效应的测定 | 第44-45页 |
| 4.1.2 实验结果 | 第45-47页 |
| 4.2 结果分析与讨论 | 第47-51页 |
| 4.2.1 延迟时间时间对烧蚀形貌的影响 | 第47-51页 |
| 4.3 双折射信号随延迟时间变化的分析 | 第51-56页 |
| 4.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 总结 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 攻读硕士学位期间主要研究成果和参与的项目 | 第67页 |
