双直线电机驱动的H型运动平台控制研究

摘要	第4-5页
Abstract	第5-6页
1 绪论	第9-15页
1.1 课题来源、背景及意义	第9-10页
1.2 光刻机精密运动平台研究现状	第10-12页
1.3 H 型精密运动平台控制策略研究现状	第12-13页
1.4 本文研究的主要内容	第13-15页
2 H 型运动平台建模及运动特性分析	第15-24页
2.1 H 型运动平台结构简介	第15-16页
2.2 H 型运动平台动力学系统建模	第16-21页
2.3 H 型运动平台运动特性分析	第21-23页
2.4 本章小结	第23-24页
3 直线电机伺服驱动控制系统设计	第24-43页
3.1 直接驱动进给系统机电模型建立	第24-26页
3.2 直线电机伺服系统位置控制器设计	第26-34页
3.3 前馈及观测器环节设计	第34-42页
3.4 本章小结	第42-43页
4 双边同步驱动控制系统设计	第43-66页
4.1 影响同步运动的主要因素分析	第43-45页
4.2 双直线电机同步控制方案分析	第45-48页
4.3 基于位移的前向补偿控制环节设计	第48-53页
4.4 使用模糊逻辑的反馈补偿控制器设计	第53-59页
4.5 同步控制系统仿真结果分析	第59-65页
4.6 本章小结	第65-66页
5 总结与展望	第66-68页
5.1 全文总结	第66页
5.2 研究展望	第66-68页
致谢	第68-69页
参考文献	第69-75页
附录 1 攻读硕士学位期间发表学术论文	第75页