双直线电机驱动的H型运动平台控制研究
摘要 | 第4-5页 |
Abstract | 第5-6页 |
1 绪论 | 第9-15页 |
1.1 课题来源、背景及意义 | 第9-10页 |
1.2 光刻机精密运动平台研究现状 | 第10-12页 |
1.3 H 型精密运动平台控制策略研究现状 | 第12-13页 |
1.4 本文研究的主要内容 | 第13-15页 |
2 H 型运动平台建模及运动特性分析 | 第15-24页 |
2.1 H 型运动平台结构简介 | 第15-16页 |
2.2 H 型运动平台动力学系统建模 | 第16-21页 |
2.3 H 型运动平台运动特性分析 | 第21-23页 |
2.4 本章小结 | 第23-24页 |
3 直线电机伺服驱动控制系统设计 | 第24-43页 |
3.1 直接驱动进给系统机电模型建立 | 第24-26页 |
3.2 直线电机伺服系统位置控制器设计 | 第26-34页 |
3.3 前馈及观测器环节设计 | 第34-42页 |
3.4 本章小结 | 第42-43页 |
4 双边同步驱动控制系统设计 | 第43-66页 |
4.1 影响同步运动的主要因素分析 | 第43-45页 |
4.2 双直线电机同步控制方案分析 | 第45-48页 |
4.3 基于位移的前向补偿控制环节设计 | 第48-53页 |
4.4 使用模糊逻辑的反馈补偿控制器设计 | 第53-59页 |
4.5 同步控制系统仿真结果分析 | 第59-65页 |
4.6 本章小结 | 第65-66页 |
5 总结与展望 | 第66-68页 |
5.1 全文总结 | 第66页 |
5.2 研究展望 | 第66-68页 |
致谢 | 第68-69页 |
参考文献 | 第69-75页 |
附录 1 攻读硕士学位期间发表学术论文 | 第75页 |