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双直线电机驱动的H型运动平台控制研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
1 绪论第9-15页
    1.1 课题来源、背景及意义第9-10页
    1.2 光刻机精密运动平台研究现状第10-12页
    1.3 H 型精密运动平台控制策略研究现状第12-13页
    1.4 本文研究的主要内容第13-15页
2 H 型运动平台建模及运动特性分析第15-24页
    2.1 H 型运动平台结构简介第15-16页
    2.2 H 型运动平台动力学系统建模第16-21页
    2.3 H 型运动平台运动特性分析第21-23页
    2.4 本章小结第23-24页
3 直线电机伺服驱动控制系统设计第24-43页
    3.1 直接驱动进给系统机电模型建立第24-26页
    3.2 直线电机伺服系统位置控制器设计第26-34页
    3.3 前馈及观测器环节设计第34-42页
    3.4 本章小结第42-43页
4 双边同步驱动控制系统设计第43-66页
    4.1 影响同步运动的主要因素分析第43-45页
    4.2 双直线电机同步控制方案分析第45-48页
    4.3 基于位移的前向补偿控制环节设计第48-53页
    4.4 使用模糊逻辑的反馈补偿控制器设计第53-59页
    4.5 同步控制系统仿真结果分析第59-65页
    4.6 本章小结第65-66页
5 总结与展望第66-68页
    5.1 全文总结第66页
    5.2 研究展望第66-68页
致谢第68-69页
参考文献第69-75页
附录 1 攻读硕士学位期间发表学术论文第75页

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