| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 巨电流变抛光技术的研究目的及意义 | 第10页 |
| 1.2 精密抛光方法简介 | 第10-15页 |
| 1.2.1 超声波抛光 | 第10-12页 |
| 1.2.2 液体射流抛光 | 第12-13页 |
| 1.2.3 离子束抛光 | 第13页 |
| 1.2.4 激光抛光 | 第13-14页 |
| 1.2.5 磁流变抛光 | 第14-15页 |
| 1.3 巨电流变效应及其机理 | 第15-16页 |
| 1.4 电流变抛光技术的研究现状 | 第16-19页 |
| 1.4.1 国内外巨电流变抛光技术的研究现状 | 第16-19页 |
| 1.4.2 巨电流变效应的应用 | 第19页 |
| 1.5 本文主要研究内容 | 第19-22页 |
| 第2章 巨电流变液微观结构及其性质 | 第22-36页 |
| 2.1 巨电流变液的组成 | 第22-23页 |
| 2.2 巨电流变液的配制 | 第23-27页 |
| 2.2.1 实验试剂与仪器 | 第23-24页 |
| 2.2.2 纳米颗粒的制备 | 第24-25页 |
| 2.2.3 纳米颗粒的微观形貌 | 第25-26页 |
| 2.2.4 巨电流变液的配制 | 第26-27页 |
| 2.3 巨电流变效应的验证 | 第27-31页 |
| 2.4 巨电流变抛光液的组成及微观结构 | 第31-34页 |
| 2.5 本章小结 | 第34-36页 |
| 第3章 巨电流变抛光液流变性能研究 | 第36-50页 |
| 3.1 巨电流变抛光液流变性能研究装置及方案设计 | 第36-39页 |
| 3.1.1 巨电流变抛光液流变性能研究装置 | 第36-38页 |
| 3.1.2 巨电流变抛光液流变性能研究方案 | 第38-39页 |
| 3.2 巨电流变抛光液粘度实验研究及分析 | 第39-44页 |
| 3.2.1 巨电流变抛光液零场粘度实验研究及分析 | 第40-42页 |
| 3.2.2 巨电流变抛光液表观粘度实验研究及分析 | 第42-44页 |
| 3.3 巨电流变抛光液剪切屈服应力实验研究及分析 | 第44-48页 |
| 3.3.1 磨料浓度对巨电流变抛光液剪切屈服应力的影响 | 第45-46页 |
| 3.3.2 磨料粒度对巨电流变抛光液剪切屈服应力的影响 | 第46-47页 |
| 3.3.3 磨料种类对巨电流变抛光液剪切屈服应力的影响 | 第47-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-50页 |
| 第4章 巨电流变抛光工艺参数的选择与实验研究 | 第50-68页 |
| 4.1 巨电流变抛光实验相关装置介绍 | 第50-51页 |
| 4.2 集成电极工具电场及抛光区域分析 | 第51-56页 |
| 4.2.1 集成电极工具的结构 | 第52-53页 |
| 4.2.2 集成电极工具的电场强度分析 | 第53-55页 |
| 4.2.3 集成电极工具有效抛光区域研究 | 第55-56页 |
| 4.3 巨电流变抛光影响因素实验 | 第56-66页 |
| 4.3.1 磨料浓度对表面粗糙度的影响 | 第57-58页 |
| 4.3.2 磨料粒度对表面粗糙度的影响 | 第58-59页 |
| 4.3.3 磨料种类对表面粗糙度的影响 | 第59-60页 |
| 4.3.4 抛光电压对表面粗糙度的影响 | 第60-61页 |
| 4.3.5 抛光间隙对表面粗糙度的影响 | 第61-62页 |
| 4.3.6 电极工具转速对表面粗糙度的影响 | 第62-63页 |
| 4.3.7 抛光时间对表面粗糙度的影响 | 第63-64页 |
| 4.3.8 实验结论综合分析 | 第64-66页 |
| 4.4 本章小结 | 第66-68页 |
| 第5章 结论 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
