硅MEMS加速度计数据采集与分析系统的研发
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第8-10页 |
| 1.2 国内外研究发展概况 | 第10-12页 |
| 1.2.1 国外研究发展现状 | 第10-11页 |
| 1.2.2 国内研究发展现状 | 第11-12页 |
| 1.3 论文研究方法和研究内容 | 第12-14页 |
| 1.3.1 研究内容 | 第12页 |
| 1.3.2 拟解决的关键问题 | 第12-13页 |
| 1.3.3 论文结构安排 | 第13-14页 |
| 2 加速度计工作原理及测试系统方案设计 | 第14-29页 |
| 2.1 加速度计工作原理 | 第14-16页 |
| 2.1.1 加速度计工作原理及分类 | 第14页 |
| 2.1.2 静态加速度测试原理 | 第14-16页 |
| 2.2 测试系统整体方案设计 | 第16-17页 |
| 2.3 测试系统硬件方案设计 | 第17-24页 |
| 2.3.1 数据采集卡 | 第17-18页 |
| 2.3.2 伺服电机及分度台 | 第18-20页 |
| 2.3.3 运动控制卡 | 第20页 |
| 2.3.4 分度盘 | 第20-22页 |
| 2.3.5 程控温箱 | 第22页 |
| 2.3.6 加速度计转接板 | 第22-24页 |
| 2.4 测试系统软件方案设计 | 第24-29页 |
| 2.4.1 软件设计技术 | 第24-25页 |
| 2.4.2 软件方案设计 | 第25页 |
| 2.4.3 软件主要功能模块的设计与实现 | 第25-29页 |
| 3 多通道加速度计性能测试方法及改进 | 第29-51页 |
| 3.1 测试系统数据优化方法 | 第29-33页 |
| 3.1.1 斜率优化DP算法 | 第29-31页 |
| 3.1.2 最小二乘法 | 第31-32页 |
| 3.1.3 移动平均法 | 第32-33页 |
| 3.2 系统零点的确立 | 第33-34页 |
| 3.3 数据采集系统 | 第34-41页 |
| 3.3.1 数据采集卡 | 第34-36页 |
| 3.3.2 数据库设计 | 第36-37页 |
| 3.3.3 数据采集 | 第37-41页 |
| 3.4 12通道加速度计性能指标及测试方法 | 第41-49页 |
| 3.4.1 标度因数 | 第41-42页 |
| 3.4.2 标度因数稳定性 | 第42页 |
| 3.4.3 标度因数重复性 | 第42-43页 |
| 3.4.4 标度因数温度灵敏度 | 第43页 |
| 3.4.5 1g稳定性 | 第43-44页 |
| 3.4.6 偏值 | 第44-46页 |
| 3.4.7 偏值稳定性 | 第46-47页 |
| 3.4.8 偏值重复性 | 第47-48页 |
| 3.4.9 偏值温度灵敏度和不对称性 | 第48-49页 |
| 3.5 软件部分的实现 | 第49-51页 |
| 4 系统主要模块调试、修正与实验数据分析 | 第51-71页 |
| 4.1 各模块调试与修正 | 第51-56页 |
| 4.1.1 分度盘转动测试 | 第51页 |
| 4.1.2 系统零点修正 | 第51-53页 |
| 4.1.3 系统精度修正 | 第53-55页 |
| 4.1.4 系统精度分析实验 | 第55-56页 |
| 4.2 实验与数据分析 | 第56-71页 |
| 4.2.1 理论分析 | 第56-57页 |
| 4.2.2 12通道加速度计实验分析 | 第57-71页 |
| 总结及展望 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 附录 | 第77-80页 |
| 攻读硕士学位期间公开发表的论文及学术成果 | 第80页 |
