| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 太阳能电池概述 | 第10-11页 |
| 1.3 太阳能电池的分类 | 第11-14页 |
| 1.4 CIGS薄膜太阳能电池研究现状及结构 | 第14-15页 |
| 1.5 CIGS薄膜太阳能电池的制备方法 | 第15-17页 |
| 1.5.1 溅射硒化法 | 第16页 |
| 1.5.2 多元共蒸发法 | 第16页 |
| 1.5.3 电沉积法 | 第16-17页 |
| 1.5.4 颗粒方法 | 第17页 |
| 1.6 CIGS的物理特性 | 第17-18页 |
| 1.7 CIGS薄膜太阳能电池的优点 | 第18页 |
| 1.8 本论文的组织结构和创新点 | 第18-20页 |
| 第二章 PLD制备CIGS薄膜的原位光热协同退火处理 | 第20-37页 |
| 2.1 引言 | 第20-21页 |
| 2.2 实验参数及理论模拟 | 第21-27页 |
| 2.2.1 微分方程 | 第22-24页 |
| 2.2.2 热场模拟的必要假设 | 第24-25页 |
| 2.2.3 模拟参数的准备 | 第25-27页 |
| 2.2.4 薄膜表面温度实测 | 第27页 |
| 2.3 实测和模拟结果讨论 | 第27-30页 |
| 2.4 电子扫描显微镜分析 | 第30-34页 |
| 2.5 X射线衍射结果分析 | 第34-35页 |
| 2.6 拉曼结果分析 | 第35-36页 |
| 2.7 讨论和结论 | 第36-37页 |
| 2.7.1 光热协同退火过程讨论 | 第36页 |
| 2.7.2 结论 | 第36-37页 |
| 第三章 挡板脉冲激光沉（SMPLD）积制备光滑CIGS薄膜 | 第37-49页 |
| 3.1 脉冲激光沉积 | 第37-39页 |
| 3.2 SMPLD实验设计 | 第39页 |
| 3.3 参数选择与优化 | 第39-44页 |
| 3.3.1 薄膜厚度与靶基距离关系 | 第39-41页 |
| 3.3.2 薄膜厚度与缓冲气压关系 | 第41-42页 |
| 3.3.3 薄膜厚度与单脉冲激光能量关系 | 第42-43页 |
| 3.3.4 薄膜厚度与沉积时间的关系 | 第43-44页 |
| 3.4 SMPLD制备的CIGS薄膜的表征分析 | 第44-48页 |
| 3.4.1 SMPLD制备的CIGS薄膜的厚度分布 | 第44-45页 |
| 3.4.2 SMPLD制备的CIGS薄膜的AFM及SEM图分析 | 第45-46页 |
| 3.4.3 SMPLD制备的CIGS薄膜的XRD谱及Raman谱分析 | 第46-47页 |
| 3.4.4 SMPLD制备的CIGS薄膜的透过率分析 | 第47-48页 |
| 3.5 本章总结 | 第48-49页 |
| 第四章 SMPLD法制备CIGS薄膜太阳能电池 | 第49-56页 |
| 4.1 脉冲激光沉积法制备背电极Mo薄膜 | 第49-51页 |
| 4.2 SMPLD制备缓冲层CdS薄膜 | 第51页 |
| 4.3 SMPLD制备缓冲层CdS、本征iZO层及窗口层AZO薄膜 | 第51-52页 |
| 4.4 SMPLD制备的CIGS薄膜太阳能电池结构表征 | 第52-55页 |
| 4.5 本章总结 | 第55-56页 |
| 第五章 总结与展望 | 第56-59页 |
| 5.1 本论文主要解决的科学问题 | 第56-57页 |
| 5.2 本论文创新点 | 第57页 |
| 5.3 本论文主要结论 | 第57-58页 |
| 5.4 本论文中的工作展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第64页 |
