硅微振梁加速度计多路快速测频与在线温度补偿技术研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 研究概况 | 第10-16页 |
| 1.2.1 硅微振梁加速度计 | 第10-14页 |
| 1.2.2 加速度计测频电路 | 第14-16页 |
| 1.3 论文研究背景及意义 | 第16-17页 |
| 1.4 本文课题来源与主要内容 | 第17-20页 |
| 1.4.1 本文课题来源 | 第17页 |
| 1.4.2 本文主要内容 | 第17-20页 |
| 第二章 硅微振梁加速度计的工作原理和频率测量方法 | 第20-32页 |
| 2.1 硅微振梁加速度计的工作原理 | 第20-23页 |
| 2.1.1 动力学基础 | 第20-22页 |
| 2.1.2 电容检测原理 | 第22-23页 |
| 2.2 硅微振梁加速度计的数字测频方法 | 第23-29页 |
| 2.2.1 直接计数法 | 第24-25页 |
| 2.2.2 多周期同步计数法 | 第25-26页 |
| 2.2.3 延时链法 | 第26-27页 |
| 2.2.4 相位重合测频法 | 第27-28页 |
| 2.2.5 移相时钟计数法 | 第28-29页 |
| 2.3 检测电路基本框架 | 第29-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-32页 |
| 第三章 多路快速频率测量算法研究 | 第32-44页 |
| 3.1 需求分析和六路频率测量方案 | 第32-33页 |
| 3.1.1 需求分析 | 第32页 |
| 3.1.2 六路测频系统方案 | 第32-33页 |
| 3.2 测频系统设计 | 第33-34页 |
| 3.3 频率测量算法设计 | 第34-38页 |
| 3.3.1 快速频率测量的实现 | 第35页 |
| 3.3.2 FPGA锁相环实现时钟倍频移相 | 第35-37页 |
| 3.3.3 计数时序控制 | 第37-38页 |
| 3.4 数据处理单元 | 第38-43页 |
| 3.4.1 计算和频差模块 | 第39-42页 |
| 3.4.2 数据输出 | 第42-43页 |
| 3.5 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 基于FPGA的多路测频电路实现与性能试验 | 第44-56页 |
| 4.1 基于FPGA的六路测频电路 | 第44-48页 |
| 4.1.1 FPGA选型与配置 | 第44-45页 |
| 4.1.2 外围电路设计 | 第45-48页 |
| 4.2 测频电路精度试验分析 | 第48-51页 |
| 4.2.1 实验环境 | 第48页 |
| 4.2.2 测频误差分析 | 第48-50页 |
| 4.2.3 快速测频误差分析 | 第50-51页 |
| 4.3 加速度计频率测量实验 | 第51-55页 |
| 4.3.1 频率测量数据处理 | 第52-53页 |
| 4.3.2 加速度计零偏测试 | 第53-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 硅微振梁加速度计温度补偿研究 | 第56-64页 |
| 5.1 硅微振梁加速度计的温度效应 | 第56-57页 |
| 5.2 温度建模补偿方案 | 第57-58页 |
| 5.3 基于FPGA温度补偿算法设计 | 第58-59页 |
| 5.3.1 补偿参数曲线拟合 | 第58页 |
| 5.3.2 在线温度补偿模块设计 | 第58-59页 |
| 5.4 温度补偿实验与结果分析 | 第59-63页 |
| 5.4.1 常温静态温度补偿 | 第60-61页 |
| 5.4.2 全温静态温度补偿 | 第61-63页 |
| 5.5 本章小结 | 第63-64页 |
| 第六章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 6.1 全文内容总结 | 第64-65页 |
| 6.2 未来工作展望 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 作者简介 | 第72页 |
