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笔式连续直写的纳米加工技术研究

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第一章 绪论第10-26页
    1.1 引言第10-11页
    1.2 扫描探针加工第11-18页
        1.2.1 扫描探针加工技术的起源第12页
        1.2.2 扫描探针加工技术的主要特点第12-13页
        1.2.3 扫描探针加工方法第13-18页
    1.3 FPN技术的研究现状第18-23页
        1.3.1 FPN技术的最新研究进展第18-21页
        1.3.2 FPN技术的应用第21-23页
        1.3.3 FPN技术研究现状概述第23页
    1.4 本课题研究内容第23-25页
        1.4.1 课题内容第23-24页
        1.4.2 本文结构安排第24-25页
    1.5 本章小结第25-26页
第二章FPN工作过程分析第26-35页
    2.1 FPN力学分析第26-29页
        2.1.1 毛细力和液桥第26-27页
        2.1.2 毛细力的机理分析第27-29页
    2.2 FPN书写过程分析第29-33页
        2.2.1 针尖与基底间液桥的形成第30-31页
        2.2.2 墨水分子在液桥中的传输第31-32页
        2.2.3 墨水分子在基底的扩散第32-33页
    2.3 针尖和基底接触的作用力建模第33-34页
    2.4 本章小结第34-35页
第三章FPN书写实验第35-56页
    3.1 实验材料及设备第35-41页
        3.1.1 基底第35页
        3.1.2 墨水及探针第35-36页
        3.1.3 Multiview1000 型原子力显微镜AFM第36-40页
        3.1.4 图像处理软件WSXM第40-41页
    3.2 实验过程和结果分析第41-54页
        3.2.1 书写过程的AFM设置第41-42页
        3.2.2 点结构的书写第42-44页
        3.2.3 线结构的书写第44-49页
        3.2.4 电压控制下的FPN书写第49-53页
        3.2.5 图案的书写第53-54页
    3.3 本章小结第54-56页
第四章 基于FPN书写线结构的电学性能研究第56-65页
    4.1 二探针和四探针法测电阻率第56-58页
        4.1.1 电阻率的定义第56页
        4.1.2 二探针法和四探针法第56-58页
    4.2 实验材料及设备第58-60页
    4.3 实验方案及结果分析第60-64页
        4.3.1 云母基底上线结构的书写及表征第60-61页
        4.3.2 二探针法测电阻率第61-62页
        4.3.3 四探针法测电阻率第62-64页
    4.4 本章小结第64-65页
第五章 总结与展望第65-67页
    5.1 总结第65-66页
    5.2 展望第66-67页
参考文献第67-74页
附录第74-77页
攻读学位期间公开发表的论文及科研成果第77-78页
致谢第78-79页

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