| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-12页 |
| 1.1.1 我国PCB行业的发展 | 第10-11页 |
| 1.1.2 PCB蚀刻工艺及废液的产生 | 第11-12页 |
| 1.2 FeCl_3蚀刻液及蚀刻机理 | 第12-13页 |
| 1.3 FeCl_3蚀刻废液的再生技术 | 第13-16页 |
| 1.3.1 铁粉置换再生法 | 第13页 |
| 1.3.2 焙烧再生法 | 第13-14页 |
| 1.3.3 硫化亚铁沉淀法 | 第14页 |
| 1.3.4 萃取再生法 | 第14-15页 |
| 1.3.5 电解再生法 | 第15页 |
| 1.3.6 浓缩结晶再生法 | 第15-16页 |
| 1.4 常见蒸发工艺 | 第16-19页 |
| 1.4.1 单效及多效蒸发 | 第16-17页 |
| 1.4.2 多级闪蒸 | 第17页 |
| 1.4.3 热泵蒸发 | 第17-19页 |
| 1.5 蚀刻废液热泵蒸发结晶再生工艺存在的问题 | 第19-20页 |
| 1.6 本文主要的研究内容 | 第20-21页 |
| 第2章 FeCl_3蚀刻废液再生工艺改进研究 | 第21-29页 |
| 2.1 FeCl_3蚀刻废液再生工艺改进 | 第21-23页 |
| 2.1.1 工艺流程说明 | 第21-23页 |
| 2.1.2 工艺过程参数 | 第23页 |
| 2.1.3 工艺改进后的特点 | 第23页 |
| 2.2 FeCl_3蚀刻废液再生新工艺装备 | 第23-28页 |
| 2.2.1 热泵机组 | 第23-25页 |
| 2.2.2 罗茨-水喷射真空泵机组 | 第25-26页 |
| 2.2.3 蒸发结晶器 | 第26-27页 |
| 2.2.4 水力旋流器 | 第27-28页 |
| 2.2.5 三足式离心机 | 第28页 |
| 2.2.6 泵和其他附件 | 第28页 |
| 2.3 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 氯化铜结晶动力学理论研究和粒度影响因素分析 | 第29-41页 |
| 3.1 氯化铜晶体的结晶过程特性 | 第29-31页 |
| 3.1.1 晶核的生成 | 第29-30页 |
| 3.1.2 晶体的生长 | 第30-31页 |
| 3.2 晶体成核速率和生长速率方程的求解方法 | 第31-35页 |
| 3.2.1 连续稳态法 | 第32页 |
| 3.2.2 连续动态法 | 第32-33页 |
| 3.2.3 间歇动态法 | 第33-35页 |
| 3.3 氯化铜晶体结晶粒度的实验研究 | 第35-40页 |
| 3.3.1 实验装置 | 第35页 |
| 3.3.2 实验步骤 | 第35-36页 |
| 3.3.3 实验结果分析 | 第36-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 蚀刻废液再生用旋流器结构参数优化研究 | 第41-56页 |
| 4.1 再生用旋流器结构参数初步设计 | 第41-46页 |
| 4.1.1 水力旋流器直径 | 第41-42页 |
| 4.1.2 旋流器进料管设计 | 第42-43页 |
| 4.1.3 溢流管结构设计 | 第43-44页 |
| 4.1.4 溢流管插入深度 | 第44页 |
| 4.1.5 旋流器圆柱段长度 | 第44页 |
| 4.1.6 旋流器锥段结构 | 第44-45页 |
| 4.1.7 旋流器底流口直径 | 第45页 |
| 4.1.8 旋流器材料 | 第45-46页 |
| 4.2 基于CFD技术的旋流器结构参数优化 | 第46-55页 |
| 4.2.1 CFD技术原理 | 第46-47页 |
| 4.2.2 旋流器数值模拟步骤 | 第47-51页 |
| 4.2.3 模拟结果分析 | 第51-55页 |
| 4.3 本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章 FeCl_3蚀刻废液再生新工艺装备的调试和运行 | 第56-68页 |
| 5.1 调试方案 | 第56-57页 |
| 5.2 运行参数的标定 | 第57-58页 |
| 5.2.1 水力旋流器压力降的测定 | 第57页 |
| 5.2.2 晶浆液流量的测定 | 第57页 |
| 5.2.3 晶浆液含固量和密度的测定 | 第57-58页 |
| 5.2.4 晶体粒径分布的测定 | 第58页 |
| 5.3 运行物料的特性 | 第58-59页 |
| 5.4 新工艺装备的调试过程 | 第59-60页 |
| 5.5 新工艺装备的操作特性 | 第60-62页 |
| 5.6 新工艺产品特性分析 | 第62-65页 |
| 5.6.1 运行结果 | 第62页 |
| 5.6.2 产品质量分析 | 第62-65页 |
| 5.7 新工艺装备物质消耗分析 | 第65-66页 |
| 5.7.1 系统总功率 | 第65页 |
| 5.7.2 离心机处理量和热损失 | 第65-66页 |
| 5.7.3 耗散的水蒸汽量 | 第66页 |
| 5.7.4 化学资源消耗分析 | 第66页 |
| 5.8 本章小结 | 第66-68页 |
| 第6章 结论与展望 | 第68-70页 |
| 6.1 结论 | 第68页 |
| 6.2 展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 硕士期间发表的学术论文 | 第76页 |