MEMS谐振式压力传感器谐振器设计与分析
| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3 本文研究内容 | 第14-16页 |
| 第二章 谐振式压力传感器概述 | 第16-22页 |
| 2.1 激励方式的选取 | 第17-19页 |
| 2.2 谐振器的结构与原理 | 第19-21页 |
| 2.3 本章小结 | 第21-22页 |
| 第三章 基于边缘效应的电容分析 | 第22-38页 |
| 3.1 平行板电容系统边缘效应分析 | 第23-26页 |
| 3.1.1 不考虑平行板厚度电容公式 | 第23-24页 |
| 3.1.2 考虑平行板厚度电容公式 | 第24-26页 |
| 3.2 本文模型边缘效应电容分析 | 第26-31页 |
| 3.3 静电力分析 | 第31-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-38页 |
| 第四章 谐振器机电耦合性能分析 | 第38-52页 |
| 4.1 静电力引起的谐振梁挠度分析 | 第38-44页 |
| 4.1.1 谐振梁挠度计算的解析方法 | 第39-40页 |
| 4.1.2 谐振梁挠度计算的数值方法 | 第40-44页 |
| 4.2 临界电压 | 第44-48页 |
| 4.2.1 平板电容系统临界电压 | 第44-46页 |
| 4.2.2 谐振梁临界电压 | 第46-48页 |
| 4.3 静电刚度 | 第48-51页 |
| 4.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 谐振器频率与灵敏度分析 | 第52-73页 |
| 5.1 无机电耦合谐振频率 | 第52-56页 |
| 5.1.1 自由振动频率求解 | 第52-55页 |
| 5.1.2 等效质量 | 第55-56页 |
| 5.2 机电耦合谐振频率 | 第56-59页 |
| 5.3 灵敏度分析 | 第59-71页 |
| 5.3.1 灵敏度理论分析 | 第59-63页 |
| 5.3.2 灵敏度仿真分析 | 第63-71页 |
| 5.4 本章小结 | 第71-73页 |
| 第六章 总结与展望 | 第73-75页 |
| 6.1 本文总结 | 第73-74页 |
| 6.2 展望 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 攻读硕士期间取得的成果 | 第80-81页 |
