| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第11-17页 |
| 1.1 课题背景 | 第11-12页 |
| 1.2 直拉法单晶等径生长控制技术概述 | 第12-14页 |
| 1.2.1 直拉法单晶生长概述 | 第12页 |
| 1.2.2 国内外单晶设备现状简介 | 第12-13页 |
| 1.2.3 直拉单晶炉等径控制系统简述 | 第13-14页 |
| 1.3 课题主要研究内容 | 第14-17页 |
| 第二章 直拉式单晶炉等径控制原理与工艺流程 | 第17-21页 |
| 2.1 单晶等径生长控制的原理 | 第17-18页 |
| 2.2 直拉单晶硅生长工艺流程 | 第18-20页 |
| 2.3 小结 | 第20-21页 |
| 第三章 大直径直拉式单晶炉控制系统的工程研发 | 第21-69页 |
| 3.1 直拉式单晶炉设备技术要求 | 第21-23页 |
| 3.1.1 主要技术参数 | 第21页 |
| 3.1.2 设备放置环境要求 | 第21-22页 |
| 3.1.3 冷却水源与排水 | 第22页 |
| 3.1.4 提供氩气要求 | 第22-23页 |
| 3.2 直拉式单晶炉设备机械结构 | 第23-28页 |
| 3.3 直拉式单晶炉电控系统的设计研发 | 第28-67页 |
| 3.3.1 电控系统硬件构架设计 | 第28-30页 |
| 3.3.2 电控系统硬件选型 | 第30-45页 |
| 3.3.2.1 PLC设计选型 | 第31-36页 |
| 3.3.2.2 触摸屏设计选型 | 第36页 |
| 3.3.2.3 交流伺服电机和伺服驱动器设计选型 | 第36-39页 |
| 3.3.2.4 微步电机设计选型 | 第39-40页 |
| 3.3.2.5 CCD(直径检测系统)设计选型 | 第40-42页 |
| 3.3.2.6 加热电源设计选型 | 第42-44页 |
| 3.3.2.7 各种传感器设计选型 | 第44-45页 |
| 3.3.3 电控系统软件设计 | 第45-67页 |
| 3.3.3.1 系统组态设计 | 第45-55页 |
| 3.3.3.2 系统通讯设计 | 第55-58页 |
| 3.3.3.3 微步电机的软件设置 | 第58-60页 |
| 3.3.3.4 PLC控制程序的编制 | 第60-67页 |
| 3.4 小结 | 第67-69页 |
| 第四章 单晶炉直径控制环基于IMC-PID控制器设计与仿真研究 | 第69-79页 |
| 4.1 单晶炉直径控制环 | 第69-70页 |
| 4.1.1 直径控制环各部分组成 | 第69页 |
| 4.1.2 常用控制算法 | 第69-70页 |
| 4.2 直径控制环拉速-直径过程建模 | 第70-78页 |
| 4.2.1. 建模分析 | 第70-71页 |
| 4.2.2. 最小二乘法建模 | 第71-72页 |
| 4.2.3. IMC-PID控制器设计 | 第72-74页 |
| 4.2.4. 仿真结果 | 第74-78页 |
| 4.3 小结 | 第78-79页 |
| 第五章 总结与展望 | 第79-81页 |
| 参考文献 | 第81-83页 |
| 致谢 | 第83-85页 |
| 作者和导师介绍 | 第85-87页 |
| 附表 | 第87-88页 |