具备自校正功能的绝对式时栅角位移传感器研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第10-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-14页 |
| 1.2.1 绝对位移测量方法研究现状 | 第12-13页 |
| 1.2.2 自校正方法的研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3 课题来源及主要研究内容 | 第14-15页 |
| 1.4 本章小结 | 第15-16页 |
| 2 传感器的位移测量原理研究 | 第16-30页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 增量测量与绝对测量的特点 | 第16-17页 |
| 2.3 两种典型栅式传感器绝对测量机理 | 第17-23页 |
| 2.3.1 光栅编码器的绝对式测量机理 | 第17-21页 |
| 2.3.2 旋转变压器的绝对式测量机理 | 第21-23页 |
| 2.4 时栅位移传感器的测量原理 | 第23-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-30页 |
| 3 绝对式测量与自校正实现机理研究 | 第30-44页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 时栅传感器绝对式测量机理 | 第30-35页 |
| 3.2.1 “粗机+精机”组合的绝对式时栅 | 第30-31页 |
| 3.2.2 “精机+精机”组合的绝对式时栅 | 第31-35页 |
| 3.3 基于误差坐标变换的时栅自校正方法 | 第35-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-44页 |
| 4 传感器设计与仿真分析 | 第44-60页 |
| 4.1 引言 | 第44页 |
| 4.2 传感器结构设计 | 第44-48页 |
| 4.2.1 时栅的基本结构 | 第44-46页 |
| 4.2.2 具备自校正功能的绝对式时栅设计 | 第46-48页 |
| 4.3 仿真分析与优化设计 | 第48-58页 |
| 4.3.1 电磁学概述 | 第48页 |
| 4.3.2 模型仿真 | 第48-51页 |
| 4.3.3 仿真分析与模型优化 | 第51-54页 |
| 4.3.4 绝对位移信息的仿真输出 | 第54-56页 |
| 4.3.5 齿槽加工工艺优化实验 | 第56-58页 |
| 4.4 本章小结 | 第58-60页 |
| 5 传感器的实验研究 | 第60-70页 |
| 5.1 引言 | 第60页 |
| 5.2 样机结构方案 | 第60-61页 |
| 5.3 电气系统与实验平台 | 第61-66页 |
| 5.3.1 硬件电路系统 | 第61-64页 |
| 5.3.2 软件系统 | 第64-65页 |
| 5.3.3 实验平台 | 第65-66页 |
| 5.4 实验论证与误差分析 | 第66-68页 |
| 5.4.1 信号波形输出实验 | 第66页 |
| 5.4.2 绝对位置信息输出实验 | 第66-67页 |
| 5.4.3 精度实验及误差分析 | 第67-68页 |
| 5.5 本章小结 | 第68-70页 |
| 6 总结与展望 | 第70-72页 |
| 6.1 总结 | 第70-71页 |
| 6.2 展望 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文及取得的研究成果 | 第78-80页 |
