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高阻单晶硅太阳电池关键工艺研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
1 绪论第11-17页
    1.1 太阳电池简述第11-14页
        1.1.1 世界能源形式第11-12页
        1.1.2 太阳电池发展概况第12-13页
        1.1.3 太阳电池分类第13-14页
    1.2 晶硅电池研究进展第14-15页
    1.3 本文的研究意义第15页
    1.4 本文的组织结构第15-17页
2 单晶硅太阳电池的常规制备工艺及参数测试第17-25页
    2.1 晶硅太阳电池制备流程第17-18页
    2.2 单晶硅太阳电池工作原理第18-19页
    2.3 单晶硅片电阻率测试原理第19-22页
    2.4 太阳电池输出参数的测量第22-25页
3 单晶太阳电池各制备步骤的工艺条件研究第25-34页
    3.1 清洗与制绒第25-27页
        3.1.1 清洗工艺第25-26页
        3.1.2 制绒工艺第26-27页
    3.2 扩散工艺第27-30页
        3.2.1 扩散工艺原理第27-28页
        3.2.2 扩散工艺及参数对方块电阻的影响第28-30页
    3.3 烧结工艺第30-32页
        3.3.1 烧结工艺条件第30-32页
    3.4 正常工艺实验下效率分析第32-34页
4 电阻率对单晶硅太阳电池性能的影响第34-41页
    4.1 电池用单晶硅片的电阻率第34-35页
    4.2 单晶硅片电阻率的分布第35-36页
    4.3 电阻率分布情况对单晶硅太阳电池性能的影响第36-40页
        4.3.1 实验步骤第36-37页
        4.3.2 方阻影响分析第37页
        4.3.3 不同电阻率电池的参数测试结果第37-39页
        4.3.4 不同电阻率单晶电池片衰减研究第39-40页
    4.4 高电阻率太阳电池制备的可能第40-41页
5 不同电阻率太阳电池的制备及输出参数对比第41-51页
    5.1 单晶硅片电阻率的选择第41页
    5.2 电池的制备工艺条件第41-48页
        5.2.1 清洗与制绒工艺第41-42页
        5.2.2 扩散工艺制备第42-46页
        5.2.3 烧结工艺第46-48页
    5.3 不同电阻率单晶电池的输出参数第48-51页
6 高阻单晶硅太阳电池性能测试第51-57页
    6.1 高阻太阳电池的反射率第51-53页
    6.2 高阻太阳电池结深与表面杂质浓度的测量第53-54页
    6.3 高阻太阳电池的I-V特性曲线第54-57页
结论与展望第57-58页
参考文献第58-62页
作者攻读学位期间发表的学术论文目录第62-63页
致谢第63-64页

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