| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 半导体金属氧化物传感器概述 | 第9-16页 |
| 1.2.1 半导体金属氧化物传感器的研究进展 | 第9-10页 |
| 1.2.2 半导体金属氧化物传感器的分类 | 第10-12页 |
| 1.2.3 半导体金属氧化物传感器的检测方法和性能指标 | 第12-14页 |
| 1.2.4 半导体金属氧化物传感器的气敏机理 | 第14-16页 |
| 1.3 半导体金属氧化物ZnO简介 | 第16-21页 |
| 1.3.1 ZnO的基本性质与应用 | 第16页 |
| 1.3.2 ZnO纳米材料的制备方法 | 第16-19页 |
| 1.3.3 ZnO气体传感器的研究概况及传感性能的改善 | 第19-21页 |
| 1.4 本论文的选题意义及研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 Au修饰对多孔ZnO材料的苯敏性能影响分析 | 第23-41页 |
| 2.1 引言 | 第23-24页 |
| 2.2 实验部分 | 第24-26页 |
| 2.2.1 实验试剂 | 第24页 |
| 2.2.2 多孔Au/ZnO微球的合成 | 第24-25页 |
| 2.2.3 气体传感器件的结构与制作 | 第25-26页 |
| 2.2.4 气体传感器的测试系统及操作 | 第26页 |
| 2.3 结果与讨论 | 第26-40页 |
| 2.3.1 材料的结构与形貌表征 | 第26-31页 |
| 2.3.2 多孔Au/ZnO复合材料的气敏性能研究 | 第31-39页 |
| 2.3.3 多孔Au/ZnO复合材料的气体传感机理 | 第39-40页 |
| 2.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 第三章 痕量Pt负载的多孔ZnO微球对苯类气体的超灵敏检测研究 | 第41-57页 |
| 3.1 引言 | 第41-42页 |
| 3.2 实验部分 | 第42-44页 |
| 3.2.1 实验试剂及原料 | 第42页 |
| 3.2.2 多孔Pt-ZnO微球的制备 | 第42-43页 |
| 3.2.3 气敏传感器的制作 | 第43页 |
| 3.2.4 气敏测试方法及系统 | 第43-44页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第44-55页 |
| 3.3.1 Pt-ZnO的结构与形貌表征 | 第44-49页 |
| 3.3.2 多孔Pt-ZnO复合材料的气敏性能研究 | 第49-54页 |
| 3.3.3 多孔Pt-ZnO复合材料的气体传感机理 | 第54-55页 |
| 3.4 本章小结 | 第55-57页 |
| 第四章 结论 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-71页 |
| 攻读硕士期间发表论文及参与科研项目 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
