FBAR传感器读出电路设计
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 课题研究背景及研究意义 | 第8页 |
| 1.2 FBAR传感器读出电路的发展现状 | 第8-10页 |
| 1.3 六端口技术的发展现状 | 第10-11页 |
| 1.4 研究内容及结构安排 | 第11-14页 |
| 2 设计基础 | 第14-27页 |
| 2.1 FBAR的工作原理 | 第14-17页 |
| 2.1.1 压电效应 | 第14-15页 |
| 2.1.2 工作原理 | 第15-17页 |
| 2.2 六端口反射计的工作原理 | 第17-25页 |
| 2.2.1 基本原理 | 第17-21页 |
| 2.2.2 数学模型及设计准则 | 第21-23页 |
| 2.2.3 反射系数的计算 | 第23-25页 |
| 2.3 FBAR传感器的工作原理 | 第25-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 3 基于六端口反射计的FBAR传感器读出电路 | 第27-48页 |
| 3.1 六端口反射计的设计 | 第27-39页 |
| 3.1.1 六端口网络 | 第27-37页 |
| 3.1.2 检波器 | 第37-39页 |
| 3.2 工艺误差分析 | 第39-46页 |
| 3.2.1 金属导线的宽度误差 | 第40-42页 |
| 3.2.2 金属导线的厚度误差 | 第42-43页 |
| 3.2.3 基板的厚度误差 | 第43-45页 |
| 3.2.4 基板的介电常数误差 | 第45-46页 |
| 3.3 本章小结 | 第46-48页 |
| 4 构建FBAR传感器最小系统 | 第48-69页 |
| 4.1 FBAR建模及仿真 | 第48-55页 |
| 4.1.1 Mason等效电路模型 | 第48-51页 |
| 4.1.2 FBAR电学仿真模型 | 第51-55页 |
| 4.2 FBAR传感器建模及仿真 | 第55-61页 |
| 4.3 六端口反射计的校准 | 第61-67页 |
| 4.4 本章小结 | 第67-69页 |
| 5 硬件电路的制作及测试 | 第69-82页 |
| 5.1 微带六端口网络的制作 | 第69-72页 |
| 5.2 微带六端口网络的测试 | 第72-78页 |
| 5.3 反射系数的测量 | 第78-80页 |
| 5.4 本章小结 | 第80-82页 |
| 结论 | 第82-84页 |
| 1. 论文的主要工作 | 第82-83页 |
| 2. 论文的创新点 | 第83页 |
| 3. 后续工作展望 | 第83-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-89页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文及研究成果 | 第89页 |
