| 中文摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| ·传感器的定义和组成 | 第8-9页 |
| ·硅固态力传感器制作概况 | 第9-10页 |
| ·压力传感器国内研究现状 | 第10-12页 |
| ·压力传感器国外研究现状 | 第12-13页 |
| ·国内外模数转换电路的发展状况 | 第13-14页 |
| ·本章小结 | 第14-15页 |
| 第2章 多晶硅压力传感器的工作原理 | 第15-25页 |
| ·应力和应变 | 第15页 |
| ·压阻效应和压阻系数 | 第15-18页 |
| ·灵敏系数分析 | 第18-19页 |
| ·影响压阻系数大小的因素 | 第19-20页 |
| ·温度漂移的补偿 | 第20-21页 |
| ·应力计算 | 第21-22页 |
| ·满量程输出的理论计算 | 第22-23页 |
| ·恒压源供电 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 多晶纳米硅薄膜电阻压力传感器的结构 | 第25-27页 |
| ·多晶纳米硅薄膜电阻压力传感器基本结构 | 第25-26页 |
| ·多晶硅膜电阻压力传感器芯片实物照片 | 第26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第4章 多晶硅压力传感器模数转换电路的模拟仿真和制作 | 第27-37页 |
| ·检测信号电路 | 第27-30页 |
| ·信号处理电路设计 | 第30-33页 |
| ·处理器 | 第30-31页 |
| ·A/D 转换电路 | 第31-33页 |
| ·键盘控制电路 | 第33页 |
| ·显示驱动电路 | 第33-35页 |
| ·电源电路设计 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第5章 程序设计与实现 | 第37-41页 |
| ·程序总体设计 | 第37-38页 |
| ·模/数转换流程设计 | 第38页 |
| ·数据处理程序设计 | 第38-39页 |
| ·温度补偿程序设计 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第6章 多晶硅压力传感器实验结果与讨论 | 第41-55页 |
| ·传感器的几个主要参数 | 第41-44页 |
| ·传感器的线性度 | 第41-42页 |
| ·传感器的灵敏度 | 第42-43页 |
| ·传感器的重复性 | 第43页 |
| ·传感器的迟滞特性 | 第43页 |
| ·传感器的综合精度 | 第43-44页 |
| ·纳米多晶硅薄膜压力传感器电阻的I-V 特性 | 第44页 |
| ·纳米多晶硅薄膜压力传感器的静态特性 | 第44-53页 |
| ·纳米多晶硅薄膜压力传感器的线性度 | 第45-48页 |
| ·多晶纳米硅薄膜电阻压力传感器重复性 | 第48-49页 |
| ·纳米多晶硅薄膜压力传感器迟滞 | 第49-50页 |
| ·纳米多晶硅薄膜压力传感器精度 | 第50-51页 |
| ·纳米多晶硅薄膜压力传感器灵敏度特性 | 第51页 |
| ·纳米多晶硅薄膜压力传感器温度特性 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 结论 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第63-64页 |
| 附录 | 第64-66页 |