| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-21页 |
| ·研究背景及意义 | 第11-12页 |
| ·蓝宝石的抛光方法 | 第12-20页 |
| ·研究目标和研究内容 | 第20-21页 |
| 第2章 蓝宝石表面改性处理的研究 | 第21-43页 |
| ·蓝宝石表面水合改性处理 | 第21-28页 |
| ·蓝宝石水合改性原理 | 第21-23页 |
| ·蓝宝石表面粗糙度对水合改性的影响 | 第23-28页 |
| ·蓝宝石表面亲水性改性处理 | 第28-32页 |
| ·蓝宝石亲水性改性原理 | 第28-30页 |
| ·蓝宝石表面粗糙度对亲水性改性的影响 | 第30-32页 |
| ·改性方法的对比及时效性影响规律 | 第32-37页 |
| ·水合改性与亲水性改性的比较 | 第33-35页 |
| ·改性的时效性 | 第35-37页 |
| ·材料去除机理及材料去除函数 | 第37-42页 |
| ·材料去除机理 | 第37-38页 |
| ·单颗粒的材料去除函数 | 第38-39页 |
| ·磨粒流的材料去除量函数 | 第39-41页 |
| ·超声振动下的材料去除函数 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第3章 基于Fluent仿真抛光液试验参数对抛光效果的影响 | 第43-53页 |
| ·微腔体结构及仿真建模 | 第43-45页 |
| ·Fluent数值模拟基本过程 | 第43-44页 |
| ·腔体结构及仿真建模 | 第44-45页 |
| ·抛光液对微腔体内参数的影响规律 | 第45-47页 |
| ·入口速度对微腔体内部流速的影响 | 第45-46页 |
| ·入口速度对腔体内压强的影响 | 第46-47页 |
| ·离散相数值模拟磨粒轨迹分布 | 第47-49页 |
| ·超声振动对抛光效果的影响 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 第4章 蓝宝石微腔体抛光试验研究 | 第53-65页 |
| ·抛光试验设计 | 第53-57页 |
| ·抛光试验方案 | 第53-55页 |
| ·工件运动位移测试 | 第55-57页 |
| ·试验参数对抛光效果的影响规律 | 第57-62页 |
| ·超声振动功率对抛光效果的影响 | 第57-60页 |
| ·超声振动频率对抛光效果的影响 | 第60-61页 |
| ·改性处理对抛光效果的影响规律 | 第61页 |
| ·抛光液粒径对抛光效果的影响规律 | 第61-62页 |
| ·微腔体内部粗糙度均匀性检验 | 第62-64页 |
| ·试验结果说明 | 第64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第5章 总结 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-73页 |
| 作者简介及在学期间所取得的科研成果 | 第73-75页 |
| 一、作者简介 | 第73页 |
| 二、主要研究成果 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |