条纹扫描法测量薄膜厚度技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-11页 |
| ·课题的研究背景 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-10页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第10-11页 |
| 2 薄膜厚度测量方法简介 | 第11-21页 |
| ·光谱法 | 第11-12页 |
| ·椭圆偏振法 | 第12-14页 |
| ·干涉法 | 第14-16页 |
| ·激光反射法 | 第16-18页 |
| ·棱镜波导耦合法 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-21页 |
| 3 干涉法测量薄膜厚度原理及测试过程 | 第21-31页 |
| ·剪切干涉仪 | 第21-22页 |
| ·横向剪切法测量薄膜厚度的原理 | 第22-26页 |
| ·横向剪切干涉系统测试薄膜厚度过程 | 第26-30页 |
| ·薄膜厚度测试平台 | 第27页 |
| ·干涉图的采集 | 第27-28页 |
| ·干涉条纹图像的处理 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 4 干涉图像处理的关键技术 | 第31-48页 |
| ·干涉图的预处理 | 第31-36页 |
| ·去噪算法 | 第31-35页 |
| ·边缘提取 | 第35-36页 |
| ·正一级频谱的提取 | 第36页 |
| ·相位解包算法 | 第36-41页 |
| ·相位解包的原理 | 第37-38页 |
| ·相位解包的基本方法 | 第38-39页 |
| ·区域生长相位解包算法 | 第39-41页 |
| ·横向剪切干涉图的仿真及处理 | 第41-47页 |
| ·剪切干涉图样生成 | 第41-43页 |
| ·剪切干涉图的处理 | 第43-46页 |
| ·仿真结果分析 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 5 实验数据采集及分析 | 第48-54页 |
| ·薄膜样片的制备 | 第48-49页 |
| ·干涉图图像采集及处理结果 | 第49-53页 |
| ·整体法处理干涉图的结果及分析 | 第50-52页 |
| ·ZYGO干涉仪的结果 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 6 结论与展望 | 第54-56页 |
| ·结论 | 第54页 |
| ·展望 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-62页 |
