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玻璃覆晶的封装互连性能检测方法及倒装设备研究

上海交通大学博士学位论文答辩决议书第1-6页
摘要第6-8页
ABSTRACT第8-18页
第一章 绪论第18-36页
   ·课题来源及课题背景第18-20页
     ·课题来源第18页
     ·课题研究背景第18-20页
   ·液晶组装流程与COG封装工艺第20-27页
     ·液晶组装流程第20-21页
     ·玻璃覆晶封装工艺及其特点第21-24页
     ·COG互连电阻与可靠性因素分析第24-27页
   ·COG封装互连检测与建模第27-31页
     ·COG封装互连检测现状第27-29页
     ·互连电阻建模第29-31页
   ·COG倒装设备第31-33页
     ·倒装设备国内外现状第31-32页
     ·高精度运动定位平台结构第32页
     ·高精度视觉对位系统第32-33页
   ·课题的目的与意义第33-34页
   ·本文研究内容第34-36页
第二章 基于导电面积的COG凸点互连电阻建模第36-50页
   ·引言第36-37页
   ·COG凸点互连电阻模型第37页
   ·基于导电面积的单导电颗粒互连电阻模型第37-44页
     ·单导电颗粒互连电阻建模第37-41页
     ·单颗粒模型验证第41-44页
   ·多导电颗粒的凸点互连电阻建模第44-48页
     ·邦定压力在不同导电颗粒上的分配第44-46页
     ·导电颗粒间的电场畸变效应第46-48页
   ·本章小结第48-50页
第三章 基于机器视觉的COG凸点互连电阻的估计方法第50-70页
   ·引言第50页
   ·凸点检测的视觉系统设计第50-51页
   ·凸点边缘检测及区域提取第51-59页
     ·图像预处理第51-56页
     ·凸点检测和区域提取第56-59页
   ·凸点边缘检测与区域提取实验评估第59-61页
   ·导电颗粒接触面积获取及互连电阻估计第61-68页
   ·本章小结第68-70页
第四章 高密度玻璃覆晶倒装设备结构设计与优化第70-100页
   ·引言第70页
   ·设备功能需求分析第70-72页
   ·设备布局方案与部件功能设计第72-75页
     ·设备布局方案设计第72-74页
     ·部件功能设计第74-75页
   ·关键部件选型与设计优化第75-88页
     ·高精度视觉系统硬件设计第75-82页
     ·邦定压头结构设计与仿真优化第82-88页
   ·倒装设备机构设计第88-97页
     ·芯片上料机构设计第90-92页
     ·预压与本压工位设计第92-95页
     ·定位运动平台设计第95-97页
   ·本章小结第97-100页
第五章 高密度COG倒装设备控制实现与实验测试第100-132页
   ·言第100页
   ·控制系统设计与开发第100-107页
     ·控制系统设计第100-105页
     ·控制时序分析第105-107页
   ·COG倒装设备测试第107-121页
     ·视觉系统畸变校正及测试第107-112页
     ·预压台定位精度测试第112-117页
     ·热压模块实现及测试第117-121页
   ·互连性能评估测试第121-125页
   ·倒装设备软件开发与整机实现第125-128页
   ·本章小结第128-132页
第六章 总结与展望第132-136页
   ·总结第132-133页
   ·创新点第133-134页
   ·研究展望第134-136页
参考文献第136-146页
致谢第146-148页
攻读博士学位论文期间的科研成果第148-149页

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