基于半解析法MOSFET寄生电容的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-15页 |
| ·MOSFET | 第8-12页 |
| ·MOSFET简介 | 第8-10页 |
| ·MOSFET分类 | 第10-11页 |
| ·MOSFET电容 | 第11-12页 |
| ·本课题研究现状 | 第12-13页 |
| ·本文所做工作 | 第13-15页 |
| 第二章 寄生电容的求解方法 | 第15-21页 |
| ·解析计算方法 | 第15-18页 |
| ·解析法定义 | 第15页 |
| ·解析法解题步骤 | 第15-18页 |
| ·解析计算的优缺点 | 第18页 |
| ·数值计算方法 | 第18-21页 |
| ·数值计算的定义 | 第19页 |
| ·数值计算的特点 | 第19-20页 |
| ·数值计算的优缺点 | 第20-21页 |
| 第三章 半解析法求寄生电容 | 第21-37页 |
| ·半解析法 | 第21页 |
| ·模型及方程的建立 | 第21-25页 |
| ·寄生电容的物理模型 | 第21-23页 |
| ·建立栅-源定解问题 | 第23-25页 |
| ·定解问题的求解 | 第25-32页 |
| ·电势分布函数的求解 | 第25-27页 |
| ·求解待定系数 | 第27-32页 |
| ·寄生电容的求解 | 第32-37页 |
| ·电荷的计算 | 第32-34页 |
| ·求寄生电容 | 第34-37页 |
| 第四章 模型验证与讨论 | 第37-51页 |
| ·电势分布图 | 第37-38页 |
| ·普通MOSFET寄生电容 | 第38-44页 |
| ·高K栅MOSFET寄生电容 | 第44-51页 |
| 第五章 总结 | 第51-53页 |
| 参考文献(References) | 第53-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第57页 |