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氮化镓基发光二极管抗静电性能改进的研究

摘要第1-4页
Abstract第4-6页
第一章 绪论第6-16页
   ·GaN 基 LED 简介第6-9页
   ·GaN 的材料特性第9-10页
   ·LED 的基本结构第10-13页
   ·论文的研究意义及目的第13-16页
第二章 LED 抗静电设计的理论基础第16-30页
   ·MOCVD 外延生长工艺简介第16-19页
   ·LED 静电击穿的机理第19-22页
   ·ESD 标准化测试第22-28页
   ·本章小结第28-30页
第三章 改变 GaN 基 LED 的结构设计提高抗静电性能第30-34页
   ·GaN 基 LED 上集成肖特基二极管第30-31页
   ·倒装结构的 GaN 基 LED 集成齐纳二极管第31-33页
   ·本章小结第33-34页
第四章 改进 MOCVD 生长工艺提高 ESD 性能第34-46页
   ·调整 P-GaN 生长温度改善结晶质量第34-36页
   ·P-AlGaN 电子阻挡层厚度的调整第36-37页
   ·多量子阱(MQW)垒区的掺杂第37-38页
   ·超晶格结构增强电流扩展效果第38-41页
   ·LED 上集成 ESD 保护二极管第41-44页
   ·本章小结第44-46页
第五章 实验与设计第46-54页
   ·超晶格对 GaN 基 LED 的抗静电放电性能的影响第46-49页
   ·高温低温分步 p-GaN 外延层生长对 ESD 性能的影响第49-53页
   ·本章小结第53-54页
第六章 总结与展望第54-56页
致谢第56-58页
参考文献第58-60页

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