| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| ·研究背景及意义 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状及进展 | 第11-14页 |
| ·选题依据 | 第14-15页 |
| ·研究内容 | 第15-16页 |
| 第二章 Cr 薄膜的制备与性能研究 | 第16-26页 |
| ·Cr 薄膜表征设备介绍 | 第16-19页 |
| ·Cr 薄膜的制备 | 第19-23页 |
| ·磁控溅射制备 Cr 薄膜 | 第19-20页 |
| ·溅射气压对 Cr 薄膜电阻率的影响 | 第20-21页 |
| ·溅射功率对 Cr 薄膜电阻率的影响 | 第21-22页 |
| ·薄膜厚度对薄膜电阻率的影响 | 第22-23页 |
| ·Cr 薄膜的表面分析 | 第23-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 Cr 薄膜电阻桥的制备及性能研究 | 第26-51页 |
| ·Cr 薄膜电阻桥的设计 | 第26-28页 |
| ·Cr 薄膜电阻桥的基本结构及工作原理 | 第26-27页 |
| ·Cr 薄膜电阻桥的设计 | 第27-28页 |
| ·点火电阻桥发热的 ANSYS 有限元仿真 | 第28-33页 |
| ·Cr 薄膜电阻桥制备工艺 | 第33-36页 |
| ·光刻 | 第33页 |
| ·湿法腐蚀工艺 | 第33-35页 |
| ·剥离工艺 | 第35-36页 |
| ·Cr 薄膜的湿法腐蚀工艺参数研究 | 第36-41页 |
| ·温度对 Cr 薄膜腐蚀效果的影响 | 第36-38页 |
| ·pH 值对 Cr 薄膜腐蚀效果的影响 | 第38-39页 |
| ·硝酸铈铵浓度对 Cr 薄膜腐蚀效果的影响 | 第39-41页 |
| ·Cr 薄膜电阻桥的制备及测试 | 第41-43页 |
| ·电阻桥点火测试 | 第43-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 第四章 Cr/B/Ti 集成薄膜点火电阻桥制备及性能研究 | 第51-56页 |
| ·B/Ti 多层薄膜的制备 | 第51-53页 |
| ·电阻桥点火性能测试 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第五章 结论与展望 | 第56-58页 |
| ·本文工作及结论 | 第56-57页 |
| ·未来与展望 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 硕士研究生期间取得的研究成果 | 第62-63页 |