首页--工业技术论文--机械、仪表工业论文--仪器、仪表论文--光学仪器论文--物理光学仪器论文

基于激光干涉测长的线纹检测技术

中文摘要第1-4页
ABSTRACT第4-8页
第一章 绪论第8-15页
   ·长度计量和米定义的演变第8-9页
   ·线纹测量国内外现状第9-13页
   ·本课题意义和主要任务第13-15页
第二章 线纹测量装置的研制第15-41页
   ·各类三等线纹尺的测量要求第15页
   ·装置的技术关键和创新点第15-16页
   ·激光干涉测量的原理第16-20页
     ·多普勒效应第16-17页
     ·激光干涉的位移测量第17-18页
     ·Ranishion ML10 型双频激光干涉仪测长原理第18-20页
   ·装置结构的设计第20-22页
     ·问题的提出第20页
     ·结构设计和测量优势第20-22页
     ·测量软件概述第22页
     ·技术指标第22页
   ·本装置介绍第22-37页
     ·测量台安装和构成第22-23页
     ·导轨基准线第23-24页
     ·装置成像系统第24-25页
     ·线纹尺的测量第25-31页
     ·测量软件设计第31-37页
   ·测量装置整体部件的评价第37-40页
     ·导轨平行度和直线度测量第37-39页
     ·测量台直线度测量第39-40页
   ·装置总结第40-41页
第三章 实验验证与结论第41-62页
   ·实验方案第41页
   ·测量误差的起源及误区第41-42页
   ·测量不确定度的发展和概念第42-43页
   ·三等金属线纹尺的实验第43-51页
     ·测量对象第43页
     ·测量方案第43-44页
     ·测量数据第44页
     ·测量不确定度评定第44-50页
     ·实验结论第50-51页
   ·标准钢卷尺的实验第51-58页
     ·测量对象第51页
     ·测量方案第51-52页
     ·测量数据第52页
     ·测量不确定度评定第52-57页
     ·实验结论第57-58页
   ·校准实验第58-61页
     ·1m 内示值误差的校准第58-59页
     ·定位误差的校准第59-61页
   ·装置的总体评价第61-62页
第四章 线纹测量不确定评定的其他方法第62-75页
     ·不确定度管理程序 PUMA第62-69页
     ·任务和目标不确定度第62-63页
     ·原理、方法、程序和条件第63页
     ·不确定度来源列表和讨论第63-64页
     ·首次评估第64-67页
     ·首次评估的不确定度概算讨论第67页
     ·第二次评估第67页
     ·第二次评估的结论第67-68页
     ·评论——实例总结第68-69页
   ·不确定度的灰评定第69-75页
     ·基本概念第69-70页
     ·灰理论与测量不确定度第70页
     ·标准不确定度的灰评定第70-72页
     ·线纹测量标准不确定度的灰评定实例第72-75页
第五章 总结与展望第75-76页
参考文献第76-78页
发表论文和参加科研情况说明第78-79页
致谢第79页

论文共79页,点击 下载论文
上一篇:可见分光光度计光谱分析系统的研究
下一篇:可调双行程齿轮齿条气动执行器设计与研究