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镍锡磷化学镀层的制备及其在微电子中的应用

摘要第1-3页
Abstract第3-7页
第一章 绪论第7-20页
   ·化学镀技术概述第7-10页
   ·多元化学镀镍第10页
   ·化学镀Ni-Sn-P第10-16页
   ·稀土第16-18页
   ·课题的提出第18-20页
第二章 实验材料和方法第20-26页
   ·实验仪器、实验药品、实验材料、实验装置第20-21页
   ·化学镀Ni-Sn-P镀层第21-22页
   ·沉积速度测定第22页
   ·稳定性的测定第22-23页
   ·镀层表面形貌的观测第23页
   ·镀层组成的测定第23-24页
   ·镀层耐蚀性测试第24-25页
   ·镀层可焊性测试第25-26页
第三章 四价锡化学镀Ni-Sn-P研究第26-39页
   ·还原剂含量对镀速和镀层表面形貌、组成的影响第26-28页
   ·配位剂柠檬酸对镀速和镀层表面形貌、组成的影响第28-30页
   ·四氯化锡对镀速和镀层表面形貌、组成的影响第30-32页
   ·pH值对镀速和镀层表面形貌、组成的影响第32-35页
   ·温度对镀速和镀层表面形貌、组成的影响第35-37页
   ·镀液稳定常数测定第37-38页
   ·小结第38-39页
第四章 二价锡化学镀Ni-Sn-P研究第39-51页
   ·二价锡化学镀Ni-Sn-P镀液配方的研究第39-41页
   ·pH值对镀速和镀层表面形貌、组成的影响第41-44页
   ·配位剂对镀速和镀层表面形貌、组成的影响第44-45页
   ·还原剂对镀速和镀层表面形貌、组成的影响第45-48页
   ·镀液中的锡盐含量对镀速和镀层表面形貌、组成的影响第48-49页
   ·小结第49-51页
第五章 化学镀Ni-Sn-P镀层耐蚀性及在微电子领域中的应用第51-63页
   ·耐蚀性研究第51-59页
   ·化学镀Ni-Sn-P在微电子领域中的应用第59-62页
   ·小结第62-63页
第六章 化学镀Ni-Sn-P的沉积机理研究第63-70页
   ·络合剂与镀层中锡的关系第63页
   ·化学镀Ni-Sn-P沉积机理分析第63-66页
   ·四价锡化学镀Ni-Sn-P机理探讨第66-68页
   ·二价锡化学镀Ni-Sn-P机理探讨第68-69页
   ·小结第69-70页
第七章 稀土元素对化学镀Ni-Sn-P工艺和性能的研究第70-85页
   ·稀土对沉积速度的影响第70-72页
   ·稀土对耐蚀性的影响第72-78页
   ·稀土对镀层形貌结构的影响第78-81页
   ·稀土对Ni-Sn-P合金镀层成分的影响第81-83页
   ·小结第83-85页
结论第85-86页
致谢第86-87页
参考文献第87-91页
作者简介第91页
攻读硕士学位期间研究成果第91-92页

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