| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 致谢 | 第7-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-18页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·纳米三坐标测量机的研究现状 | 第14-17页 |
| ·课题的主要来源和内容 | 第17-18页 |
| 第二章 微纳三维测量机总体结构设计 | 第18-22页 |
| ·微纳三维测量机结构 | 第18-19页 |
| ·微纳三维测量机总体结构设计 | 第19-22页 |
| 第三章 三维定位工作台机械结构设计 | 第22-41页 |
| ·通用器件选型 | 第22-24页 |
| ·导轨选型 | 第22-23页 |
| ·电机选型 | 第23-24页 |
| ·测量器件选型及安装调平机构设计 | 第24-27页 |
| ·X、Y 向激光器结构尺寸及其安装调平机构设计 | 第25-26页 |
| ·Z 向激光器结构尺寸及其安装调平机构设计 | 第26-27页 |
| ·共平面二维定位平移台设计 | 第27-33页 |
| ·X 向平移台设计 | 第27-30页 |
| ·Y 向平移台设计 | 第30-33页 |
| ·二维定位平移台整体总装 | 第33页 |
| ·Z 向定位工作台设计 | 第33-38页 |
| ·Z 向导向部件设计 | 第34-35页 |
| ·Z 向反射靶镜设计 | 第35页 |
| ·Z 向驱动部件设计 | 第35-36页 |
| ·Z 向运动台平衡部件设计 | 第36-37页 |
| ·Z 向定位工作台整体总装 | 第37-38页 |
| ·测量机基台设计 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 测量机三维定位工作台有限元分析及结构优化 | 第41-58页 |
| ·有限元法及 ANSYS 概述 | 第41-42页 |
| ·Z 轴重力对二维平移台的影响分析 | 第42-47页 |
| ·不同 Z 轴系统重力对静态 Y 台的变形分析 | 第42-44页 |
| ·建立 Y 台有限元模型 | 第42-43页 |
| ·施加约束、加载与求解 | 第43-44页 |
| ·Y 平移台移动时 Z 轴系统重力对 Y 台精度影响 | 第44-46页 |
| ·X 平移台移动时 Z 轴系统重力对 X 台精度影响 | 第46-47页 |
| ·力平衡系统的设计 | 第47-52页 |
| ·力平衡系统设计方案 | 第47-48页 |
| ·力平衡系统的主要部件设计 | 第48-51页 |
| ·力平衡系统装配 | 第51-52页 |
| ·Y 台自重分析及结构参数优化 | 第52-54页 |
| ·X 台自重分析及结构参数优化 | 第54-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 测量机整体装配及测试 | 第58-62页 |
| ·测量机台的整体装配 | 第58-59页 |
| ·装配后各单轴机构误差测定 | 第59-62页 |
| 第六章 总结与展望 | 第62-63页 |
| ·课题工作总结 | 第62页 |
| ·研究工作展望 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-65页 |
| 攻读硕士期间发表论文 | 第65-66页 |