高频大功率脉冲偏压电源的设计
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-9页 |
| ·课题背景 | 第7页 |
| ·课题国内外的研究现状 | 第7-8页 |
| ·课题主要研究目的和主要工作 | 第8-9页 |
| ·主要目的 | 第8页 |
| ·主要工作 | 第8-9页 |
| 2 脉冲偏压电源方案及主电路的设计 | 第9-15页 |
| ·磁控溅射的基本理论 | 第9-10页 |
| ·磁控溅射离子镀的工作原理 | 第9-10页 |
| ·脉冲偏压电源的基本要求 | 第10页 |
| ·脉冲偏压电源的方案 | 第10-12页 |
| ·脉冲偏压电源的结构类型 | 第10-11页 |
| ·脉冲偏压电源的拓扑选择 | 第11-12页 |
| ·脉冲偏压电源的主电路 | 第12-15页 |
| 3 脉冲偏压电源的硬件电路设计 | 第15-35页 |
| ·移相全桥ZVZCS变换器 | 第15-20页 |
| ·移相全桥ZVZCS变换器的拓扑选择 | 第15-16页 |
| ·移相全桥ZVZCS变换器的原理分析 | 第16-19页 |
| ·移相全桥ZVZCS变换器的参数设计 | 第19-20页 |
| ·高频直流电源的硬件设计及参数计算 | 第20-27页 |
| ·输入整流滤波电路的设计 | 第20-22页 |
| ·高频变压器的设计 | 第22-23页 |
| ·输出整流和滤波电路的设计 | 第23-24页 |
| ·开关器件IGBT的选择 | 第24-25页 |
| ·ZVZCS谐振元件参数的计算 | 第25-27页 |
| ·高频脉冲电源的硬件设计及参数计算 | 第27-30页 |
| ·高频脉冲电源的主电路 | 第27-29页 |
| ·高频脉冲电源缓冲电路的设计 | 第29-30页 |
| ·PSPICE电路仿真 | 第30-35页 |
| ·功率器件及变压器的PSPICE模型建立 | 第30-31页 |
| ·超前桥臂的ZVS验证及参数影响 | 第31-32页 |
| ·滞后桥臂的ZCS验证及参数影响 | 第32-33页 |
| ·仿真结论 | 第33-35页 |
| 4 脉冲偏压电源闭环控制器的设计 | 第35-49页 |
| ·移相全桥ZVZCS变换器的小信号建模 | 第35-37页 |
| ·Buck变换器的小信号模型 | 第35-36页 |
| ·移相全桥ZVZCS变换器的小信号模型 | 第36-37页 |
| ·移相全桥ZVZCS变换器的传递函数及频率特性 | 第37-41页 |
| ·电源系统的闭环控制 | 第41-49页 |
| ·闭环控制模式 | 第41页 |
| ·平均电流模式控制 | 第41-43页 |
| ·PID控制器设计 | 第43-46页 |
| ·系统闭环控制仿真分析 | 第46-49页 |
| 5 脉冲偏压电源的数字控制系统设计 | 第49-57页 |
| ·控制系统硬件设计 | 第49-53页 |
| ·TMS320F2812 DSP简介 | 第49页 |
| ·采样及信号调理电路 | 第49-52页 |
| ·驱动电路设计 | 第52-53页 |
| ·控制系统软件设计 | 第53-57页 |
| ·PWM驱动信号生成 | 第53-54页 |
| ·数字PI控制器的设计 | 第54-57页 |
| 6 实验结果与全文总结 | 第57-61页 |
| ·仿真波形及实验波形对比分析 | 第57-60页 |
| ·实验结果 | 第60页 |
| ·全文总结 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-65页 |
| 附录 | 第65-68页 |
| 附录1 5KW变压器设计参数总表 | 第65-68页 |
| 附录2 5KW变压器的SPICE模型程序清单 | 第68页 |
