半导体行业MES的研究与应用
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| ·研究背景和问题描述 | 第10-11页 |
| ·MES 技术的现状 | 第11-14页 |
| ·研究任务和本文结构 | 第14-15页 |
| ·本章小结 | 第15-16页 |
| 第二章 半导体MES 技术概述 | 第16-28页 |
| ·半导体制造业介绍 | 第16-18页 |
| ·半导体制造业的发展 | 第16-17页 |
| ·半导体制造的流程特征 | 第17-18页 |
| ·半导体MES 技术的产生 | 第18-21页 |
| ·半导体制造车间的问题 | 第18页 |
| ·半导体MES 的应用 | 第18-20页 |
| ·半导体MES 带来的效益 | 第20-21页 |
| ·半导体MES 的功能分析 | 第21-27页 |
| ·典型MES 产品的功能模型 | 第21-26页 |
| ·半导体行业新扩展功能 | 第26-27页 |
| ·小结 | 第27-28页 |
| 第三章 半导体MES 的框架 | 第28-40页 |
| ·系统架构 | 第28-31页 |
| ·软件架构及功能组件 | 第28-29页 |
| ·硬件架构模型 | 第29-30页 |
| ·关键开发技术 | 第30-31页 |
| ·系统配置和构建 | 第31-37页 |
| ·应用管理配置 | 第31-33页 |
| ·动态菜单结构 | 第33-35页 |
| ·访问级别控制 | 第35-36页 |
| ·标签方式多语言支持 | 第36-37页 |
| ·系统主要功能结构 | 第37-39页 |
| ·系统管理功能 | 第37-38页 |
| ·用户应用功能 | 第38-39页 |
| ·主要功能结构图 | 第39页 |
| ·小结 | 第39-40页 |
| 第四章 半导体MES 的功能实现 | 第40-61页 |
| ·系统管理功能 | 第40-47页 |
| ·系统数据类别 | 第40页 |
| ·类表数据维护技术 | 第40-44页 |
| ·动态菜单分配技术 | 第44-46页 |
| ·系统权限控制技术 | 第46-47页 |
| ·用户应用功能 | 第47-60页 |
| ·WIP(在制品管理)模块 | 第47-49页 |
| ·PRP(流程管理)模块 | 第49-51页 |
| ·EQP(设备管理)模块 | 第51-56页 |
| ·EDC(参数采集)模块 | 第56-58页 |
| ·RPT(报表管理)模块 | 第58-59页 |
| ·模块间的数据关联 | 第59-60页 |
| ·小结 | 第60-61页 |
| 第五章 半导体MES 的实施过程 | 第61-73页 |
| ·项目实施准备 | 第61-64页 |
| ·组建MES 项目团队 | 第61-62页 |
| ·项目实施范围界定 | 第62-63页 |
| ·评估项目实施周期 | 第63-64页 |
| ·车间管理对象建模 | 第64-69页 |
| ·对象管理概念 | 第64-65页 |
| ·车间对象管理模型 | 第65-66页 |
| ·工艺流程建模 | 第66-67页 |
| ·制品加工过程建模 | 第67-69页 |
| ·系统实施和上线 | 第69-72页 |
| ·基础信息整理 | 第69-70页 |
| ·功能定制开发 | 第70-71页 |
| ·系统整合测试 | 第71页 |
| ·用户分批培训 | 第71-72页 |
| ·Pilot Dry Run | 第72页 |
| ·小结 | 第72-73页 |
| 第六章 半导体MES 的应用效果 | 第73-83页 |
| ·制造车间运行流程 | 第73-79页 |
| ·工艺流程定义 | 第73-74页 |
| ·订单下达与投料 | 第74-75页 |
| ·制品加工过程 | 第75-77页 |
| ·实时数据采集 | 第77-78页 |
| ·设备状态翻牌 | 第78-79页 |
| ·报表数据模式 | 第79-80页 |
| ·在制品报表 | 第79-80页 |
| ·设备运行报表 | 第80页 |
| ·应用MES 的收益总结 | 第80-82页 |
| ·实施MES 的优势 | 第81页 |
| ·应用MES 的借鉴意义 | 第81-82页 |
| ·小结 | 第82-83页 |
| 第七章 结束语 | 第83-85页 |
| ·全文总结 | 第83-84页 |
| ·半导体MES 未来发展 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-87页 |
| 致谢 | 第87-88页 |
| 作者攻读学位期间发表的论文 | 第88-89页 |
| 上海交通大学学位论文答辩决议书 | 第89页 |
