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表面修饰SnO2气体传感器工艺研究及性能分析

第1章 绪论第1-25页
   ·气敏传感器及其分类第10-12页
   ·国内外气体传感器的发展状况第12-16页
   ·纳米氧化物半导体气敏材料第16-18页
   ·纳米SnO_2 基气敏材料研究进展第18-24页
   ·本文研究目的和研究内容第24-25页
第2章 SnO_2粉体合成及传感器制作工艺第25-35页
   ·溶胶-凝胶法原理第25-28页
   ·SnO_2 纳米粉体的合成第28-31页
     ·主要化学试剂、仪器设备及工艺环境要求第28-29页
     ·SnO_2 纳米粉体合成过程第29-31页
   ·气体传感器的制作第31-33页
   ·测试方法第33-34页
   ·本章小结第34-35页
第3章 SnO_2气体传感器性能第35-46页
   ·修饰前气敏性能第35-36页
     ·SnO_2 气体传感器初期稳定性第35-36页
     ·SnO_2 气体传感器灵敏度特性第36页
   ·Al_20_3(Pt)修饰SnO_2 双层膜的气敏性能第36-40页
     ·Pt 浓度对修饰SnO_2 双层膜初期稳定性的影响第36-37页
     ·Pt 浓度对修饰SnO_2 双层膜气敏性能的影响第37-40页
     ·加热电压对修饰SnO_2 双层膜气敏性能的影响第40页
   ·TiO_2(Pt)修饰SnO_2 双层膜的气敏性能第40-45页
     ·Pt 浓度对修饰SnO_2 双层膜初期稳定性的影响第40-41页
     ·Pt 浓度对修饰SnO_2 双层膜气敏性能的影响第41-44页
     ·加热电压对修饰SnO_2 双层膜的气敏性影响第44-45页
   ·本章小结第45-46页
第4章 Al_20_3修饰SnO_2双层膜的表征及组分分析第46-52页
   ·SnO_2 敏感层微观结构第46-47页
   ·Al_20_3 催化层的表面形貌第47-49页
   ·双层膜断面形貌第49-50页
   ·双层膜气体传感器的组分分析第50-51页
   ·本章小结第51-52页
第5章 气敏机理及表面修饰机理探讨第52-66页
   ·SnO_2 气敏机理第52-60页
     ·纯SnO_2 气敏机理第52-58页
     ·纳米SnO_2 气敏机理第58-59页
     ·纳米SnO_2 掺杂机理第59-60页
   ·Al_20_3 表面催化修饰机理第60-63页
   ·TiO_2 表面催化修饰机理第63-65页
   ·本章小结第65-66页
结论第66-67页
参考文献第67-73页
攻读学位期间发表的学术论文第73-74页
致谢第74页

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