MEMS悬臂梁磁场传感器与谐振悬臂梁电磁驱动技术
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-25页 |
| ·引言 | 第7-9页 |
| ·MEMS概述 | 第7-9页 |
| ·传感器概述 | 第9页 |
| ·磁检测传感器概述 | 第9-19页 |
| ·检测机制 | 第10-11页 |
| ·不同磁传感器的比较 | 第11-14页 |
| ·MEMS磁传感器类型 | 第14-18页 |
| ·磁测量传感器的应用和前景 | 第18-19页 |
| ·谐振式传感器接口电路概述 | 第19-23页 |
| ·开环检测和闭环检测 | 第21页 |
| ·谐振电路 | 第21-22页 |
| ·谐振传感器的AGC电路 | 第22-23页 |
| ·本文所做的工作 | 第23-25页 |
| 第二章 片上可标定的MEMS悬臂梁传感器 | 第25-53页 |
| ·器件设计及模拟 | 第25-30页 |
| ·传感器的设计原理 | 第25-27页 |
| ·传感器的自校准原理 | 第27-29页 |
| ·传感器的设计指标 | 第29-30页 |
| ·传感器的模拟 | 第30页 |
| ·传感器制作工艺 | 第30-39页 |
| ·工艺流程 | 第30-32页 |
| ·结构流程图 | 第32-36页 |
| ·翘曲现象与残余应力研究 | 第36-39页 |
| ·静态磁检测传感器的信号检测分析 | 第39-51页 |
| ·测试目的 | 第39-40页 |
| ·测试流程说明 | 第40页 |
| ·传感器测试分析 | 第40-51页 |
| ·分析总结及意义 | 第51页 |
| ·今后的工作 | 第51-53页 |
| 第三章 谐振式传感器闭环接口电路设计和测试 | 第53-78页 |
| ·谐振式传感器与自激振荡工作原理 | 第53-56页 |
| ·谐振式传感器的频率依赖特性 | 第53-54页 |
| ·谐振式传感器电路系统产生自激振荡激励的原理 | 第54-56页 |
| ·AGC电路模块分析 | 第56-73页 |
| ·传感器与AGC电路的结构框图 | 第56页 |
| ·AGC的闭环起振原理 | 第56-58页 |
| ·传感器电路分析和讨论 | 第58-73页 |
| ·谐振式传感器使用AGC闭环电路的测试结果 | 第73-76页 |
| ·传感器简介 | 第73-74页 |
| ·开环测试悬臂梁工作状态 | 第74页 |
| ·闭环测试悬臂梁状态 | 第74-76页 |
| ·今后的工作 | 第76-78页 |
| 第四章 本文的工作总结 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 个人简历 | 第85页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第85-86页 |
| 学位论文独创性声明 | 第86页 |
| 学位论文使用授权声明 | 第86页 |
