| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第1章 引言 | 第8-23页 |
| ·ZnO薄膜的应用 | 第8-9页 |
| ·ZnO薄膜在光学方面的应用 | 第8页 |
| ·ZnO薄膜在电学方面的应用 | 第8-9页 |
| ·ZnO薄膜在磁学方面的应用 | 第9页 |
| ·ZnO薄膜的制备技术 | 第9-11页 |
| ·喷雾热解(Spray Pyrolysis) | 第9-10页 |
| ·化学气相沉积(CVD) | 第10页 |
| ·磁控溅射(Magnetron Sputtering) | 第10页 |
| ·脉冲激光沉积(Pulsed Laser Deposition) | 第10-11页 |
| ·溶胶-凝胶(sol-gel)法 | 第11页 |
| ·分子束外延(Molecula: Beam Epitaxy) | 第11页 |
| ·连续离子层吸附与反应(SILAR)法 | 第11页 |
| ·溶胶-凝胶法概述 | 第11-16页 |
| ·溶胶-凝胶法简要发展历程 | 第11-12页 |
| ·溶胶-凝胶法的操作工艺 | 第12页 |
| ·溶胶的制备方法及原理 | 第12-13页 |
| ·有机醇盐水解法 | 第12-13页 |
| ·无机盐水解法 | 第13页 |
| ·溶胶-凝胶法的特点及应用 | 第13-15页 |
| ·溶胶-凝胶法制备薄膜方法的分类 | 第15-16页 |
| ·浸渍提拉(Dipping)法 | 第15-16页 |
| ·旋转涂覆(Spinning)法 | 第16页 |
| ·喷涂(Spraying)法 | 第16页 |
| ·稀释磁性半导体的特点、研究现状及应用 | 第16-20页 |
| ·稀释磁性半导体的特点 | 第17页 |
| ·稀释磁性半导体的研究现状及应用 | 第17-20页 |
| ·稀释磁性半导体的研究现状 | 第17-19页 |
| ·稀释磁性半导体的应用 | 第19-20页 |
| ·课题来源 | 第20页 |
| ·立题依据、研究思路及主要内容 | 第20-23页 |
| ·立题依据 | 第20-21页 |
| ·研究内容及研究路线 | 第21-23页 |
| 第2章 原料、仪器及设备 | 第23-27页 |
| ·实验原料 | 第23页 |
| ·实验仪器及设备 | 第23-24页 |
| ·测试分析仪器及设备 | 第24-27页 |
| ·X射线衍射(XRD)分析 | 第24-25页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM)分析 | 第25-26页 |
| ·原子力显微镜(AFM)分析 | 第26-27页 |
| 第3章 Fe掺杂纳米ZnO薄膜的制备 | 第27-33页 |
| ·Fe掺杂纳米ZnO薄膜的制备原理 | 第27-30页 |
| ·Fe掺杂纳米ZnO薄膜制备中的化学反应机理 | 第27-28页 |
| ·Fe掺杂纳米ZnO薄膜在基片上的附着机理 | 第28-29页 |
| ·Fe掺杂纳米ZnO薄膜在焙烧过程中的变化 | 第29-30页 |
| ·Fe掺杂纳米ZnO薄膜的制备 | 第30-33页 |
| ·制备实验工艺流程图 | 第30-31页 |
| ·实验步骤 | 第31-33页 |
| ·溶胶的制备 | 第31页 |
| ·基片的预处理 | 第31页 |
| ·基片表面涂覆湿膜 | 第31-32页 |
| ·湿膜凝胶化 | 第32页 |
| ·湿膜的预烧与焙烧 | 第32-33页 |
| 第4章 结果与讨论 | 第33-57页 |
| ·溶胶制备的主要影响因素 | 第33-37页 |
| ·溶剂的影响 | 第33页 |
| ·溶胶粘度的影响 | 第33-35页 |
| ·溶胶粘度测定条件 | 第33-34页 |
| ·溶胶粘度的测定 | 第34-35页 |
| ·酸度(pH)的影响 | 第35-36页 |
| ·分散剂的影响 | 第36-37页 |
| ·影响纳米Fe掺杂纳米ZnO薄膜微结构的主要因素 | 第37-49页 |
| ·Fe掺杂浓度的影响 | 第37-39页 |
| ·不同Fe掺杂浓度薄膜的制备 | 第37-38页 |
| ·不同Fe掺杂浓度纳米ZnO薄膜的SEM表征与分析 | 第38-39页 |
| ·焙烧温度的影响 | 第39-45页 |
| ·不同焙烧温度薄膜的制备 | 第39-40页 |
| ·不同焙烧温度薄膜的XRD、SEM表征与分析 | 第40-44页 |
| ·不同焙烧温度薄膜的AFM表征与分析 | 第44-45页 |
| ·保温时间的影响 | 第45-49页 |
| ·小结 | 第49页 |
| ·Fe掺杂ZnO纳米薄膜的导电性能测试 | 第49-57页 |
| ·半导体的能带结构 | 第49-51页 |
| ·Fe掺杂纳米ZnO薄膜电阻率的测定 | 第51-56页 |
| ·不同Fe掺杂浓度纳米ZnO薄膜电阻率的测定 | 第52-53页 |
| ·不同焙烧温度Fe掺杂纳米ZnO薄膜电阻率的测定 | 第53-54页 |
| ·不同保温时间Fe掺杂纳米ZnO薄膜电阻率的测定 | 第54-55页 |
| ·不同镀膜层数Fe掺杂纳米ZnO薄膜电阻率的测定 | 第55-56页 |
| ·Fe掺杂ZnO薄膜的导电原理探讨 | 第56-57页 |
| 结论 | 第57-59页 |
| 进一步开展研究的建议 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 作者攻读硕士学位期间发表的文章 | 第65-66页 |
| 附录 | 第66页 |
