球面曲率半径的单频激光干涉测量研究
| 绪论 | 第1-8页 |
| 1 课题背景 | 第6-7页 |
| 2 本文的主要工作 | 第7-8页 |
| 1 激光干涉测长法的基本概念 | 第8-22页 |
| ·迈克尔逊干涉测长原理 | 第8-9页 |
| ·激光偏振干涉测长原理 | 第9-10页 |
| ·激光稳频原理 | 第10页 |
| ·偏振光与偏振光的产生 | 第10-16页 |
| ·偏振与偏振光概述 | 第10-11页 |
| ·偏振光分类 | 第11-14页 |
| ·产生偏振光的方法 | 第14-16页 |
| ·偏振分光棱镜 | 第16页 |
| ·波片 | 第16-19页 |
| ·波片的定义及其分类 | 第16-18页 |
| ·偏振分光镜和λ／4波片组合应用 | 第18-19页 |
| ·起偏器与检偏器 | 第19-20页 |
| ·偏振光的干涉 | 第20-21页 |
| ·本章小节 | 第21-22页 |
| 2 激光偏振干涉测量法测量曲率半径的数学模型 | 第22-31页 |
| ·测量系统的总体设计及原理方法 | 第22-23页 |
| ·与激光球面干涉仪结合使用的测量系统图 | 第22-23页 |
| ·实现曲率半径测量的原理方法 | 第23页 |
| ·曲率半径测量的数学模型 | 第23-29页 |
| ·特定位置波片琼斯矩阵推导 | 第23-25页 |
| ·激光偏振干涉测长系统的测量数学模型 | 第25-28页 |
| ·光电探测器的输出信号 | 第28-29页 |
| ·球面半径量的获取 | 第29页 |
| ·测量电路设计框图 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 3 处理电路各功能模块的设计 | 第31-47页 |
| ·光电处理电路 | 第31-36页 |
| ·光电探测器的选取 | 第31-33页 |
| ·光电信号接收、放大电路 | 第33-34页 |
| ·减法电路 | 第34-35页 |
| ·整形电路 | 第35-36页 |
| ·倍频判向电路 | 第36-41页 |
| ·计数电路 | 第41-44页 |
| ·计数电路硬件制作 | 第42-43页 |
| ·计数电路软件设计 | 第43-44页 |
| ·显示电路 | 第44-46页 |
| ·显示电路硬件设计 | 第44-45页 |
| ·显示电路软件编程 | 第45-46页 |
| ·本章小节 | 第46-47页 |
| 4 曲率半径测量实验与电路调试 | 第47-56页 |
| ·干涉测长光路的搭建 | 第47-48页 |
| ·电路调试 | 第48-54页 |
| ·光电探测信号 | 第48-49页 |
| ·放大电路调试 | 第49页 |
| ·减法电路功能测量 | 第49-50页 |
| ·整形电路调试 | 第50页 |
| ·倍频判向电路调试 | 第50-51页 |
| ·显示电路的调试 | 第51页 |
| ·单片机计数与显示电路的调试 | 第51-54页 |
| ·整体测试 | 第54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 5 误差分析 | 第56-65页 |
| ·阿贝误差 | 第56页 |
| ·余弦误差 | 第56-57页 |
| ·激光频率不准确和不稳定带来的误差 | 第57页 |
| ·起偏器45°方向角误差对于对比度的影响 | 第57-60页 |
| ·λ／4波片相位延迟偏差对于对比度的影响 | 第60-62页 |
| ·角锥加工误差 | 第62页 |
| ·电子系统误差 | 第62-63页 |
| ·测试环境偏离标准状态带来的误差 | 第63页 |
| ·本文系统误差估计值 | 第63-64页 |
| ·结合4.3分析测试结果 | 第64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 结论 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-69页 |
| 附录A | 第69-70页 |
| 附录B | 第70-71页 |
| 附录C | 第71页 |
