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半导体器件噪声—可靠性诊断方法研究

摘要第1-7页
ABSTRACT第7-12页
第一章 绪论第12-22页
   ·研究背景第12-15页
     ·半导体器件的低频噪声和可靠性第12-13页
     ·辐射环境和MOS 器件的辐射效应第13-14页
     ·MOS 器件抗辐照能力的噪声表征技术第14页
     ·光电耦合器的低频噪声和可靠性第14-15页
   ·国内外相关研究概况第15-18页
     ·半导体器件的低频噪声理论第15-16页
     ·半导体器件可靠性的噪声诊断技术第16-18页
   ·本论文主要研究内容第18-22页
第二章 半导体器件噪声基础第22-34页
   ·引言第22-23页
   ·白噪声第23-25页
     ·热噪声第23-24页
     ·散粒噪声第24-25页
   ·G-R 噪声第25-29页
     ·G-R 噪声的产生机理第25-26页
     ·二极管的G-R 噪声第26页
     ·双极晶体管的G-R 噪声第26-27页
     ·MOSFET 中的RTS第27-29页
   ·1/f 噪声第29-32页
     ·1/f 噪声产生机理第29-30页
     ·二极管的1/f 噪声第30页
     ·双极晶体管的1/f 噪声第30-31页
     ·MOS 器件的1/f 噪声第31-32页
   ·小结第32-34页
第三章 MOS 器件1/f 噪声的测试分析第34-50页
   ·引言第34-35页
   ·MOS 器件低频噪声的测试方法第35-36页
     ·输出噪声的测量第35页
     ·输入噪声的测量第35-36页
     ·系统背景噪声的测量第36页
   ·基于虚拟仪器的MOS 器件低频噪声测试系统第36-39页
     ·测试系统的组成和工作原理第36-37页
     ·测试系统的性能分析第37-39页
   ·平稳1/f 噪声的测试结果及特性分析第39-41页
     ·频率特性第39-40页
     ·偏置特性第40-41页
     ·尺寸特性第41页
   ·非平稳1/f 噪声的测试结果及特性分析第41-49页
     ·非平稳1/f 噪声测试方法第41-43页
     ·MOS 器件的非平稳1/f 噪声模型第43-47页
     ·结果和讨论第47-49页
   ·小结第49-50页
第四章 MOS 器件辐照特性的1/f 噪声表征方法第50-98页
   ·引言第50-51页
   ·MOS 器件总剂量辐照退化效应第51-60页
     ·辐照诱发阈值电压漂移第52-56页
     ·辐照诱发跨导退化第56-58页
     ·辐照使1/f 噪声幅值增加第58-59页
     ·辐照使1/f 噪声指数减小第59-60页
   ·MOS 器件辐照退化与1/f 噪声的相关性:实验研究第60-68页
     ·1/f 噪声与阈值电压漂移的关系第60-62页
     ·1/f 噪声与跨导退化的关系第62-63页
     ·机理分析第63-68页
   ·MOS 器件辐照退化与1/f 噪声的相关性:理论分析第68-82页
     ·MOSFET 1/f 噪声的统一模型第68-74页
     ·阈值电压漂移-1/f 噪声相关性分析第74-78页
     ·跨导退化-1/f 噪声相关性分析第78-80页
     ·辐照感生氧化层电荷的1/f 噪声分析方法第80-82页
   ·MOS 器件抗辐照能力的1/f 噪声筛选方法第82-96页
     ·MOS 器件抗辐照能力的传统表征方法第82-83页
     ·基于噪声参数的MOS 器件抗辐照能力表征模型第83-85页
     ·表征参数的选择和相关性分析第85-88页
     ·正态性分析和噪声频度分布第88-90页
     ·回归分析和显著性检验第90-91页
     ·筛选判据的确定第91-92页
     ·结果和讨论第92-96页
   ·结论第96-98页
第五章 光电耦合器的噪声-可靠性诊断方法第98-116页
   ·引言第98-99页
   ·光电耦合器的低频噪声第99-101页
     ·光电耦合器低频噪声的构成第99-100页
     ·光电耦合器低频噪声的测试方法第100-101页
   ·光电耦合器的1/f 噪声第101-106页
     ·光耦1/f 噪声的产生机理第101-102页
     ·光电耦合器的1/f 噪声模型第102-104页
     ·实验结果和讨论第104-106页
   ·光电耦合器的G-R 噪声第106-110页
     ·光耦G-R 噪声的产生机理第106-107页
     ·光电耦合器的G-R 噪声模型第107-108页
     ·实验结果和讨论第108-110页
   ·光电耦合器可靠性的噪声评估方法第110-114页
     ·光电耦合器传统的可靠性评估方法第110-111页
     ·光电耦合器可靠性的噪声评估方法第111-114页
   ·小结第114-116页
第六章 总结第116-120页
致谢第120-122页
参考文献第122-133页
博士期间的学术论文及研究成果第133-134页

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