| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| ·研究背景 | 第9-12页 |
| ·红外光声气体传感器的探测原理 | 第12-13页 |
| ·红外光声气体传感器的发展 | 第13-14页 |
| ·研究内容 | 第14-15页 |
| 参考文献: | 第15-18页 |
| 第二章 电调制MEMS红外辐射源的研究 | 第18-48页 |
| ·前言 | 第19页 |
| ·MEMS红外辐射源的相关理论基础 | 第19-21页 |
| ·MEMS红外辐射源的设计 | 第21-28页 |
| ·MEMS红外辐射源发热材料的选择 | 第21-22页 |
| ·MEMS红外辐射源的结构设计 | 第22-24页 |
| ·MEMS红外辐射源的性能模拟 | 第24-28页 |
| ·MEMS红外辐射源的工艺实现 | 第28-30页 |
| ·电调制MEMS红外辐射源的性能表征 | 第30-34页 |
| ·辐射特性测试 | 第31-33页 |
| ·动态特性测试 | 第33-34页 |
| ·MEMS辐射源的电极图形和辐射面积对辐射性能的影响 | 第34-38页 |
| ·表面辐射性能的研究 | 第38-40页 |
| ·单膜MEMS红外辐射单元的研制 | 第40-45页 |
| ·本章结论 | 第45页 |
| 参考文献: | 第45-48页 |
| 第三章 MEMS红外光声气体传感器的一维光声腔研究 | 第48-62页 |
| ·前言 | 第48-49页 |
| ·一维光声(PHOTOACOUSTICS,PA)腔理论基础 | 第49-52页 |
| ·光声腔的分类 | 第49页 |
| ·理论基础 | 第49-51页 |
| ·PA系统的表征参数 | 第51-52页 |
| ·一种新的一维纵向光声腔模型的建立以及模拟结果 | 第52-59页 |
| ·模拟的理论模型 | 第52-55页 |
| ·模拟结果与分析 | 第55-59页 |
| ·MEMS光声腔的制作 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60页 |
| 参考文献: | 第60-62页 |
| 第四章 用于MEMS红外光声气体传感器的单片电容式硅基微传声器的研究 | 第62-91页 |
| ·前言 | 第62-63页 |
| ·电容式硅基微传声器 | 第63-68页 |
| ·灵敏度 | 第63-66页 |
| ·频率响应 | 第66-67页 |
| ·共振频率 | 第67-68页 |
| ·吸附电压 | 第68页 |
| ·硅基MEMS微传声器有限元模型的建立和模拟 | 第68-77页 |
| ·有限元模型 | 第69页 |
| ·振动膜片的静态分析 | 第69-73页 |
| ·模态和频响分析 | 第73-75页 |
| ·Pull-in效应分析 | 第75-76页 |
| ·小结 | 第76-77页 |
| ·单片电容式硅基微传声器的设计 | 第77-81页 |
| ·结构设计 | 第77-79页 |
| ·版图设计 | 第79页 |
| ·灵敏度的理论计算 | 第79-81页 |
| ·工艺实验研究 | 第81-87页 |
| ·工艺流程设计 | 第81-82页 |
| ·单项工艺实验研究 | 第82-87页 |
| ·本章小结 | 第87-88页 |
| 参考文献: | 第88-91页 |
| 第五章 基于MEMS红外辐射源的便携式红外吸收气体传感器研究 | 第91-101页 |
| ·红外吸收及NDIR的工作原理 | 第91-93页 |
| ·红外气体吸收的理论 | 第91-92页 |
| ·NDIR气体传感器的工作机理 | 第92-93页 |
| ·应用电调制MEMS红外辐射源的新型NDIR气体传感器 | 第93-99页 |
| ·系统组成 | 第94-95页 |
| ·实验与结果分析 | 第95-99页 |
| ·本章小结 | 第99页 |
| 参考文献 | 第99-101页 |
| 第六章 结论 | 第101-103页 |
| 附件1 攻读博士学位期间发表论文一览 | 第103-104页 |
| 致谢 | 第104-105页 |
