3英寸YBCO双面超导薄膜的研制
| 摘 要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目 录 | 第7-9页 |
| 第一章 概述 | 第9-28页 |
| ·高温超导材料及其应用 | 第9-11页 |
| ·小面积YBCO薄膜的外延生长 | 第11-21页 |
| ·YBCO薄膜的结构与性能的关系 | 第12-15页 |
| ·YBCO薄膜的生长工艺 | 第15-21页 |
| ·大面积双面YBCO超导薄膜的研究现状 | 第21-25页 |
| ·大面积YBCO薄膜制备方法比较 | 第22-24页 |
| ·国内外研究现状 | 第24-25页 |
| ·本论文的选题及研究方案 | 第25-28页 |
| 第二章 实验方法与原理 | 第28-39页 |
| ·倒筒靶直流溅射装置 | 第28-32页 |
| ·二极溅射原理 | 第28-29页 |
| ·倒筒靶溅射装置 | 第29-30页 |
| ·基片转动装置 | 第30-31页 |
| ·筒形加热器 | 第31-32页 |
| ·YBCO薄膜的性能测试和微观分析 | 第32-39页 |
| ·微观结构及表面形貌 | 第32-33页 |
| ·膜厚及成分 | 第33-35页 |
| ·超导转变温度(TC) | 第35-36页 |
| ·临界电流密度( jC) | 第36-37页 |
| ·微波表面电阻(RS) | 第37-39页 |
| 第三章 3英寸双面YBCO薄膜的研制及均匀性分析 | 第39-71页 |
| ·加热器热场分布模拟及热设计 | 第39-48页 |
| ·加热器热场分布模拟 | 第40-43页 |
| ·大面积超导薄膜制备中的加热器热场分布 | 第43-45页 |
| ·双轴旋转基片的加热器设计 | 第45-48页 |
| ·YBCO薄膜膜厚分布模拟及基片转动控制 | 第48-58页 |
| ·YBCO薄膜膜厚分布模拟 | 第48-56页 |
| ·英寸大面积薄膜制备中的基片转动控制 | 第56-58页 |
| ·英寸双面YBCO薄膜的均匀性分析 | 第58-71页 |
| ·膜厚及成分均匀性 | 第58-64页 |
| ·微观结构均匀性 | 第64-66页 |
| ·电性能均匀性 | 第66-71页 |
| 第四章 YBCO薄膜生长机理初探 | 第71-84页 |
| ·YBCO薄膜生长过程简介 | 第71-73页 |
| ·基片温度对YBCO薄膜生长初期的影响 | 第73-79页 |
| ·基片温度对YBCO薄膜生长初期成核的影响 | 第73-75页 |
| ·基片温度对YBCO薄膜生长初期外延取向的影响 | 第75-77页 |
| ·温度波动对薄膜生长初期的影响 | 第77-79页 |
| ·薄膜表面形貌随厚度的演变过程 | 第79-81页 |
| ·基片对薄膜生长的影响 | 第81-84页 |
| 结 论 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-93页 |
| 致 谢 | 第93-94页 |
| 个人简历、在学期间的研究成果以及发表的学术论文 | 第94页 |
