基于MEMS技术的微型电场传感器设计及实验研究
| 第一章 引言 | 第1-18页 |
| ·微机电系统(MEMS)概述 | 第7-9页 |
| ·电场探测及常用的电场传感器 | 第9-15页 |
| ·机械式电场传感器 | 第10-12页 |
| ·光学式电场传感器 | 第12-15页 |
| ·现有电场传感器的局限性 | 第15-16页 |
| ·基于MEMS技术的微型电场传感器 | 第16-18页 |
| 第二章 微型电场传感器设计理论基础 | 第18-25页 |
| ·感应电流生成原理 | 第18-19页 |
| ·传感器传感部分设计模型 | 第19-21页 |
| ·垂直振动方案 | 第19-20页 |
| ·平行振动方案 | 第20-21页 |
| ·传感器振动部分设计 | 第21-25页 |
| ·静电激振方式 | 第22页 |
| ·电磁激振方式 | 第22-23页 |
| ·热激振方式 | 第23页 |
| ·激振方式的比较 | 第23-25页 |
| 第三章 微型电场传感器的理论计算与分析 | 第25-32页 |
| ·单圆孔电极模型的建立 | 第25-27页 |
| ·传感器感应电流的估算 | 第27-28页 |
| ·静电激振所需电压的估算 | 第28-32页 |
| 第四章 传感器结构设计 | 第32-37页 |
| ·整体结构设计 | 第32-33页 |
| ·屏蔽芯片结构 | 第33-34页 |
| ·感应芯片设计 | 第34-35页 |
| ·激振电场的屏蔽 | 第35-37页 |
| 第五章 模拟仿真 | 第37-41页 |
| ·ANSYS软件介绍 | 第37-38页 |
| ·栅孔屏蔽效果模拟 | 第38-40页 |
| ·弹性梁力学性质模拟 | 第40-41页 |
| 第六章 微型传感器的工艺流程设计 | 第41-54页 |
| ·屏蔽芯片工艺流程 | 第41-48页 |
| ·屏蔽芯片扫描电镜观测结果 | 第48-49页 |
| ·感应芯片工艺流程 | 第49-52页 |
| ·感应芯片扫描电镜观测结果 | 第52-54页 |
| 第七章 结论与展望 | 第54-56页 |
| ·结论 | 第54页 |
| ·下一步工作计划 | 第54-55页 |
| ·电场传感器展望 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-58页 |
| 发表文章及成果 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
